[发明专利]轴承装置

权利要求书

1.一种轴承装置，包括：

角接触球轴承，具有外圈、内圈和设置在所述内圈与所述外圈之间的滚动元件；

温度传感器，用于测量所述角接触球轴承的内部温度；和

润滑单元，

其中，所述温度传感器包括具有绝缘膜的基板，以及在该基板上的铂电阻图案，以及

所述润滑单元向所述角接触球轴承供应对应于由所述温度传感器检测到的温度的量的润滑油。

2.根据权利要求1的轴承装置，其中，所述温度传感器这样来构造出，即，利用对应于超精细图案的掩膜使涂覆在基板表面上的抗蚀剂曝光并使该超精细图案在该基板表面上显影，通过溅射将金属膜沉积在该超精细图案上，随后去除残留的抗蚀剂。

3.根据权利要求2的轴承装置，其中，所述基板被切成预定的芯片尺寸。

4.根据权利要求1，2或3的轴承装置，其中，所述温度传感器设置在滚道面、邻近滚道面的部分、或者用于保持所述滚动元件的保持架上。

5.根据权利要求1，2或3的轴承装置，其中，所述温度传感器设置在外圈的滚道面上。

6.根据权利要求1至5任一项的轴承装置，其中，所述润滑单元基于由所述温度传感器检测到的温度基本上实时地控制润滑油的供应时机和供应量。

7.根据权利要求1至6任一项的轴承装置，其中，所述轴承装置用在机床的心轴中。

8.一种用于制造轴承装置的方法，该轴承装置包括：角接触球轴承，该角接触球轴承具有外圈、内圈和设置在所述内圈与所述外圈之间的滚动元件；以及温度传感器，用于测量所述角接触球轴承的内部温度，

其中，所述温度传感器这样来构造出，即，利用对应于超精细图案的掩膜使涂覆在基板表面上的抗蚀剂曝光并使该超精细图案在该基板表面上显影，通过溅射将金属膜沉积在该超精细图案上，随后去除残留的抗蚀剂。