[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：保持工作台，该保持工作台对在玻璃基板层叠有功能层的工件进行保持；激光束照射单元，该激光束照射单元对保持于所述保持工作台的工件照射激光束；以及移动机构，该移动机构使所述保持工作台与所述激光束照射单元相对移动，所述激光加工装置的特征在于，

所述保持工作台具有：工件保持部，该工件保持部具有比工件的外缘要小的上表面，并且该工件保持部从下侧支承工件的玻璃基板；以及工件保持部旋转机构，该工件保持部旋转机构使所述工件保持部以铅直方向为旋转轴旋转，

所述激光束照射单元具有：振荡器，该振荡器用于振荡出激光束；聚光透镜，该聚光透镜通过使从所述振荡器振荡出的激光束以聚光点自玻璃基板侧对准玻璃基板与功能层之间的交界面的方式会聚，来使所述功能层从所述玻璃基板剥离并飞散；以及聚光透镜移动机构，该聚光透镜移动机构使所述聚光透镜沿与所述移动机构的移动方向相交的方向移动。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光加工装置具有抽吸机构，该抽吸机构对通过所述激光束照射单元的激光束照射而剥离并飞散的、层叠于玻璃基板的功能层进行抽吸以将其除去。