[发明专利]一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置

权利要求书

1.一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，包括：

入射窗片（1）；

真空腔体（3），其与所述入射窗片（1）连通；

加速电极（a），所述加速电极（a）固定于所述真空腔体（3）内，由光阴极（4）、栅网（5）、阳极（6）从左至右依次排列构成；所述入射窗片（1）、光阴极（4）、阳极（6）与所述真空腔体（3）同轴设置；

观察窗片（7），其设置在所述真空腔体（3）的腔壁（31）上；

所述真空腔体（3）的腔壁（31）上还连通设置有分子泵（9），及与所述分子泵（9）连通的前级干泵（10）；

真空腔体（12），其与所述真空腔体（3）同轴连通；

射频电子压缩腔（15），其两端分别与真空腔体（12、17）同轴连通；

成对的X电子偏转板（18）、成对的Y电子偏转板（19）、成对的电子扫描板（20），从左至右依次固定于所述真空腔体（17）内，且与所述真空腔体（17）同轴设置；

电子聚焦磁透镜（13），其同轴套接在所述真空腔体（12）外，可沿所述真空腔体（12）轴向移动；

射频信号发生装置（21），其与所述射频电子压缩腔（15）连接；

所述入射窗片（1）与所述真空腔体（3）之间，所述真空腔体（3）与所述分子泵（9）之间，所述真空腔体（3）与所述真空腔体（12）之间，所述真空腔体（12）与所述射频电子压缩腔（15）之间，所述射频电子压缩腔（15）与所述真空腔体（17）之间分别通过密封部件（2、8、11、14、16）连接。

2.如权利要求1所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述X方向偏转板（18）、所述Y方向偏转板（19）、所述电子扫描板（20）之间设有圆柱形绝缘陶瓷柱(b)；所述成对的X方向偏转板（18）、所述成对的Y方向偏转板（19）和所述成对的电子扫描板（20）的板平面相互平行设置；所述成对的X方向偏转板（18）的板平面之间的间距为5-6mm；所述成对的Y方向偏转板（19）的板平面之间的间距为5-6mm；所述电子扫描板（20）为平折状，所述成对的电子扫描板（20）的板平面之间的间距为3-4mm；所述成对的X电子偏转板（18）、所述成对的Y电子偏转板（19）和所述成对的电子扫描板（20）的板间间隙的中心位于真空腔体（17）的轴线上。

3.如权利要求1所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述电子聚焦磁透镜（13）沿所述真空腔体（12）轴向移动的距离为0-20mm。

4.如权利要求1所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述真空腔体（3、12、17）的真空度低于10^-7Pa。

5.如权利要求1所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述阳极（6）中心处有一圆形小孔（c），小孔（c）的直径为90-120                                                ；

所述栅网（5）的筛孔大小为30-40，所述栅网（5）通过阳极压块固定在所述阳极（6）的小孔（c）之上；

所述阳极（6）与所述光阴极（4）相对平行设置，且垂直于所述真空腔体（3）的水平轴线；所述光阴极（4）与所述阳极（6）之间以陶瓷环（d）绝缘分离，所述陶瓷环（d）用来调节所述光阴极（4）和所述阳极（6）之间的距离为5mm~10mm。

6.如权利要求5所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述光阴极（4）为背照式光阴极，其材料为磁控溅射技术制成的8-10nm金膜或30-50nm的银膜。

7.如权利要求1所述的用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，所述电子聚焦磁透镜（13）由聚焦线圈（131）以及包覆在所述聚焦线圈（131）外的磁壳（132）构成，所述聚焦线圈（131）是直径为0.5-1mm的铜导线，所述磁壳（132）的材料是纯度为99.6~99.8%的工业纯铁。