[发明专利]微机械构件、光学装置、用于微机械构件的制造方法和用于光学装置的制造方法

权利要求书

1.微机械构件(102)，包括：

部件(56，112)，该部件具有蛾眼结构，该蛾眼结构覆盖该部件(56，112)的至少一个部分表面(62，64，66，114，116)。

2.如权利要求1所述的微机械构件(102)，其中，所述蛾眼结构由无定形材料形成。

3.如权利要求1或2所述的微机械构件(102)，其中，所述部分表面(62，64，66，114，116)的至少一部分作为第一接触面(66)与所述微机械构件(102)的接触部件(58)在该接触部件(58)的至少一个第二接触面(68)上接触，所述第二接触面具有针形微结构，其中，所述第一接触面(66)的蛾眼结构和所述第二接触面(68)的针形微结构至少部分地相互啮合。

4.如权利要求3所述的微机械构件(102)，其中，所述针形微结构由结晶的半导体材料形成。

5.如上述权利要求中任一项所述的微机械构件(102)，其中，所述部件(56，112)作为光窗口(56，112)至少部分地由透光材料制成并且构造成所述微机械构件(102)的壳体的子单元，该壳体具有内部空间(52)。

6.如权利要求5所述的微机械构件(102)，其中，在所述内部空间(52)中设有镜装置(50，104)、光检测装置、分光器、透镜、致动装置(106)和/或传感装置。

7.如权利要求5或6所述的微机械构件(102)，其中，所述部分表面(62，64，66，114，116)的至少一部分是构造为光窗口的部件(56，112)的外侧面(62，114)的和/或面向所述内部空间裸露的内侧面(64，116)的至少一个部分面。

8.光学装置，包括：

发光装置(100)；和

如权利要求7所述的微机械构件(102)；

其中，所述发光装置(100)和所述微机械构件(102)这样地相互设置和定向，使得由所述发光装置(100)发射的光束(118)入射到所述部分表面(114，116)上。

9.用于微机械构件(102)的制造方法，具有以下步骤：

将部件(56，112)设置在所述微机械构件(102)上或中(S2)，该部件具有覆盖该部件(56，112)的至少一个部分表面(62，64，66，114，116)的蛾眼结构。

10.如权利要求9所述的制造方法，其中，在将所述部件(56，112)设置在所述微机械构件(102)上或中时，所述部分表面(62，64，66，114，116)的至少一部分作为第一接触面(66)与所述微机械构件(102)的接触部件(58)在该接触部件(58)的至少一个第二接触面(68)上形成接触，所述第二接触面具有针形微结构，其中，所述第一接触面(66)的蛾眼结构和所述第二接触面(68)的针形微结构至少部分地相互啮合。

11.用于光学装置的制造方法，具有以下步骤：

将发光装置(100)设置在所述光学装置中；并且

按照如权利要求9或10所述的方法制造微机械构件(102)并且将制成的微机械构件(102)设置在所述光学装置中；或者将如权利要求7所述的微机械构件(102)设置在所述光学装置中；

其中，所述发光装置(100)和所述微机械构件(102)这样地相互设置和定向，使得由所述发光装置发射的光束入射到所述部分表面(114，116)上。