[发明专利]六氟化硫在线湿度仪校验装置及其校验方法

权利要求书

1.一种六氟化硫在线湿度仪校验装置，其特征是：贮气罐（1）经出气管道与校验仓（3）连接，该出气管道上设有校验进口阀（5），校验仓经管道与循环泵仓（4）连接，循环泵仓的排气管道上顺次设有联络阀（7）和排气阀（8）以及排气流量计（14），循环泵仓的出口管道与贮气罐（1）连接，该出口管道上设有出口阀（6），隔膜泵（13）设置在循环泵仓（4）内，循环泵仓（4）上设有循环压力表（11），校验仓（3）上设有用作连接被校验湿度传感器的接口（12）；贮气罐（1）上设有压力表（15），贮气罐（1）上设有进气管，进气管上设有进气阀（16）；真空泵经抽真空管路与贮气罐（1）连接，抽真空管路上设有真空泵进气阀（9）。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫在线湿度仪校验装置，其特征是：所述贮气罐（1）上设有安全阀（10）。

3.根据权利要求1或2所述的六氟化硫在线湿度仪校验装置，其特征是：所述压力表（15）和循环压力表（11）均为真空正压两用型压力表；所述贮气罐（1）、真空泵（2）、校验仓（3）和循环泵仓（4）均安装在可移动车架上。

4.一种如权利要求1所述的六氟化硫在线湿度仪校验装置的校验方法，其特征是：按以下步骤进行：

a）系统干燥：

关闭联络阀（7）、排气阀（8）、进气阀（16），开启校验进口阀（5）、出口阀（6）和真空泵进气阀（9），启动隔膜泵（13）和真空泵（2），抽气至循环压力表（11）和压力表（15）指示-0.08MPa，停止真空泵，关闭真空泵进气阀（9），从进气阀（16）注入干燥氮气至循环压力表（11）和压力表（15）指示1.2 MPa；通过开启联络阀（7）和排气阀（8）泄压至0.12MPa，关闭进气阀（16）；如此操作三次，完成系统干燥后关闭真空泵进气阀（9）；

b）静态配气：

通过计算，从进气阀（16）定量注入水蒸气以及干燥氮气至罐内气体达到所需的压力；

c）定标：

系统内气体循环5分钟后，开启联络阀（7）和排气阀（8），以0.2L/min速度放气2分钟后，从排气流量计（14）出口取样检测贮气罐内气体水分；

d）校验：

关闭校验进口阀（5）、出口阀（6），开启联络阀（7），从排气阀（8）使校验仓和循环泵仓压力释放，卸开校验仓接口，连接被校验湿度传感器；

开启校验进口阀（5），以0.5L/min速度清洗校验仓和循环泵仓5分钟，开启出口阀（6），关闭联络阀（7）和排气阀（8），循环2分钟；

开启联络阀（7），关闭校验进口阀（5）和出口阀（6），开启排气阀（8）使校验仓和循环泵仓压力降为湿度传感器工作压力，校验湿度传感器，压力从高到低，进行同湿度传感器多压力点校验；

通过干燥氮气调整贮气罐内气体湿度，重复定标和校验过程，完成不同湿度的校验；

更换传感器后重复以上过程；

上述负压为实际压力，正压为表压。