[发明专利]银蓝玻璃及制造该银蓝玻璃的工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃以及该玻璃的制造工艺，特别涉及一种银蓝玻璃以及该银蓝玻璃的制造工艺。

现有技术

目前市场上常见的银蓝玻璃的膜系结构一般是这样的：其具有玻璃基片，在玻璃基片上从底层向上依次镀有1、SnO₂或ZnO₂膜层2、CrMnN膜层3、NiCr膜层4、ZnO₂膜层，从而构成4层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。

虽然SnO₂或ZnO₂沉积效率高、价格便宜，但其保护作用差，耐磨耐腐蚀性能不好，且不具有环保节能的功能层。而且由于没有使用SiN₄膜层，因而其膜层结构不够紧密，与玻璃基片的结合力不够强，耐磨耐腐蚀性能也欠佳。此外，它使用的是价格便宜，材质和性能都很普通的CrMnN靶材，不但银蓝颜色纯度不够，而其颜色相对暗淡，不太能满足人们的审美要求。最为重要的一点是，它没有使用Co-Ni-Cr-Al-Y层，所以这种玻璃无法达到耐高温抗氧化及低辐射的效果。

发明内容

本发明目的在于提供

本发明目的在于提供一种具有7层结构的低辐射银蓝镀膜玻璃，使其具有成本低，耐磨、耐腐蚀性能好的优点，尤其是具有耐高温抗氧化及低辐射性能的特点。

本发明的目的可采用如下技术方案来实现：在玻璃基片上从底层向上依次镀有1、第一TiO₂膜层，2、第一SnO₂膜层，3、Co-Ni-Cr-Al-Y膜层，4、第二TiO₂膜层，5、ZnO₂膜层，6、第二SnO₂膜层，7、Si₃N₄膜层，从而构成7层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。

在制造上述玻璃时，可以采取以下工艺。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1.1×10^-4pa以下，充入工艺气体(O₂或N₂或Ar)，使镀膜室压力稳定在0.3pa左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃，将靶材原子或其它化合物沉积到玻璃表面。

第一个镀膜室充入O₂，靶材为Ti靶，将第一TiO₂膜沉积到玻璃表面，厚度8至20纳米；

第二个镀膜室充入O₂，靶材为Sn靶，在第一TiO₂膜上面沉积形成第一SnO₂膜，厚度20至60纳米；

第三个镀膜室充入Ar，靶材为Co-Ni-Cr-Al-Y靶，在第一SnO₂上面沉积Co-Ni-Cr-Al-Y层，厚度8至20纳米；

第四个镀膜室充入O₂，靶材为Ti靶，在Co-Ni-Cr-Al-Y层上沉积第二TiO₂膜，厚度10至15纳米；

第五个镀膜室充入O₂，靶材为Zn靶，在第二TiO₂膜层上沉积ZnO₂膜，厚度3至10纳米；

第六个镀膜室充入O₂，靶材为Sn靶，在ZnO₂膜上沉积形成第二SnO₂膜，厚度20至60纳米；

第七个镀膜室充入N₂，靶材为Si靶，在第二SnO₂膜上沉积Si₃N₄膜，厚度15至30纳米。

采用上述结构，即可以利用SnO₂膜沉积率高，价格便宜的优点，又可以利用SiN₄膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点，特别是其中加入的一层Co-Ni-Cr-Al-Y膜层与其它三层相结合使用，使其具有低辐射节能环保的性能。而且这种玻璃还具有鲜明艳丽的色彩，达到了内在美与外在美的和谐与统一，满足使用者的个性化需求。

附图说明

图1为本发明所述银蓝玻璃的结构示意图。其中1、玻璃基片，2、第一TiO₂膜层，3、第一SnO₂膜层，4、Co-Ni-Cr-Al-Y膜层，5、第二TiO₂膜层，6、ZnO₂膜层，7、第二SnO₂膜层，8、Si₃N₄膜层。

具体实施方式