[发明专利]连续扩散处理装置

权利要求书

1.一种连续扩散处理装置，其特征在于，对板状的被处理件进行扩散处理，所述连续扩散处理装置包括：

输送台，装载并输送多个所述被处理件；

筒形的加热炉，从送入所述输送台的送入口到送出所述输送台的送出口呈直线状延伸，并且在内部进行扩散处理；

移动装置，通过把所述输送台一个一个地从所述送入口推入所述加热炉内来输送所述输送台，利用送入的所述输送台把以前送入到所述加热炉内的输送台推向所述送出口一侧，使多个所述输送台呈列状地在所述加热炉内移动；以及

多个第一隔壁构件，设在所述加热炉内，并且形成有所述输送台能通过的开口，将从所述送入口到所述送出口之间划分为多个处理区，该多个处理区的尺寸被设定成与所述输送台的沿移动方向的长度尺寸大体相同，

所述移动装置通过把所述输送台一个一个地推入所述加热炉内，使呈列状排列的各输送台以所述处理区为单位间歇移动，

所述输送台在输送方向上的至少一端一侧具备第二隔壁构件，该第二隔壁构件在所述输送台在所述处理区静止时封闭所述多个第一隔壁构件的所述开口，并把相邻的处理区之间隔开。

2.根据权利要求1所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述第二隔壁构件设在所述输送台的两端。

3.根据权利要求2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

在所述输送台上设置有间隔件，该间隔件设置在该输送台自身的第二隔壁构件和与该输送台相邻的另一个输送台的第二隔壁构件之间，用于设置规定间隙，

所述连续扩散处理装置还包括排气部件，该排气部件设置在相邻的处理区之间，对所述规定间隙内进行排气。

4.根据权利要求3所述的连续扩散处理装置，其特征在于还包括：供给部件，该供给部件设置在相邻的处理区之间，向所述规定间隙提供吹扫用气体。