[发明专利]基板用微晶玻璃陶瓷材料及其制备方法

权利要求书

1.基板用微晶玻璃陶瓷材料，其特征在于，由高温熔融钙硼硅玻璃和改性添加剂组成，所述改性添加剂包括B₂O₃、La₂O₃、SiO₂和ZnO，以质量百分比计，材料的配方为：

[100-(a+b+c+d)]G+a B₂O₃+b La₂O₃+c SiO₂++d ZnO，

其中：0.1≤a≤3.5，0.1≤b≤5，0≤c≤10，，0≤d≤1.5；G表示高温熔融钙硼硅玻璃。

2.如权利要求1所述的基板用微晶玻璃陶瓷材料，其特征在于，高温熔融钙硼硅玻璃的组分包括：CaO：35～50mol％，B₂O₃：10～30mol％，SiO₂：15～50mol％，ZrO₂：0～2mol％，TiO₂：0～2mol％。

3.如权利要求1所述的基板用微晶玻璃陶瓷材料，其特征在于，

以氧化硅的前驱体取代氧化硅，所述氧化硅的前驱体为正硅酸乙酯、硅溶胶或硅酸；

以氧化硼的前驱体取代氧化硼，所述氧化硼的前驱体为硼酸；

以氧化锌的前驱体取代氧化锌，所述氧化锌的前驱体为氢氧化锌。

4.基板用微晶玻璃陶瓷材料的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

1)按预定配方准确称取高级纯的石英砂、分析纯的碳酸钙、硼钙石以及分析纯的ZrO₂、TiO₂，搅拌使其混合均匀；

2)将混合料分批加入到在高温硅钼棒电炉中保温的铂坩埚内；升温至1380～1450℃保温2-4个小时；每隔1小时使用石英玻璃棒搅拌一次；

3)待配料熔融澄清后降温，将坩埚中的熔融物淬入蒸馏水得到小尺寸的透明玻璃体；

4)所得碎玻璃体经湿法球磨得到平均粒径约为2μm的高温熔融钙硼硅玻璃粉末；

5)按照配比称取高温熔融钙硼硅玻璃以及改性添加剂氧化物或相应的前驱体，混合，经湿法球磨得到平均粒径为1.2～1.6μm的玻璃粉末，干燥；

6)用制得的微晶玻璃陶瓷材料粉末经20MPa压力成型后，800～850℃温度下保温1-4个小时，即得微晶玻璃陶瓷材料。

5.如权利要求4所述的基板用微晶玻璃陶瓷材料的制备方法，其特征在于，所述步骤1)的预定配方为以下述组分折算的原料配方：

CaO：35～50mol％，B₂O₃：10～30mol％，SiO₂：15～50mol％，ZrO₂：0～2mol％，TiO₂：0～2mol％。