[发明专利]滑动部件及其表面加工方法有效
| 申请号： | 201110022711.5 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102140640A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 佐藤明伸;铃木晃子;河野健司 | 申请（专利权）人： | 日本航空电子工业株式会社 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑动 部件 及其 表面 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.滑动部件，其具有周期10nm～100nm、深度5nm～50nm的第一周期结构，周期100nm～1000nm、深度20nm～500nm的第二周期结构，和周期1000nm～10000nm、深度100nm～3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
2.权利要求1的滑动部件，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种为波纹结构。
3.权利要求2的滑动部件，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种的波纹结构形成在与所述滑动部件的滑动方向垂直的方向上。
4.权利要求1～3中任一项的滑动部件，其中所述表面结构至少形成在所述滑动部件的边缘上。
5.使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从与所述滑动部件的滑动方向平行的方向辐射所述气体簇离子束的步骤。
6.权利要求5的加工滑动部件的表面的方法，其中由辐射的所述气体簇离子束与所述滑动部件的表面的法线所形成的角度为30度～75度。
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