[发明专利]可在线维护的硅烷燃烧塔

说明书

技术领域

本发明涉及一种运用焚烧法处理可燃无机气体吸收的装置，特别是涉及一种可在线维护的硅烷燃烧塔。

背景技术

在电子元件和集成电路行业中产生的有害气体，一般采用以燃烧可燃性气体来燃烧硅烷的方式，采用这种方式处理有害气体时，由于可燃性气体的熄灭极易产生爆炸危险。

为了解决这个问题，中国专利申请200810093385.5公开了一种硅烷燃烧塔，具有塔体和水箱，塔体顶端设置有排气口，塔体内设置有燃烧筒、填料室、喷淋室和脱液室，燃烧筒下部设置在水箱中，燃烧筒外罩有镇流罩，镇流罩与燃烧筒间的空腔中装有喷淋装置，镇流罩外为填料室，填料室上方为脱液室，燃烧筒中设置有二块多孔挡板，将燃烧筒分隔成三个室，底部为燃烧室，中部为均压室，顶部为氮气保护室，燃烧室底部有通向塔体外的排渣口，燃烧室的塔体上有废气进气口和压缩空气进气口，废气进气口装有单向阀，氮气保护室的筒体上装有氮气进气口，氮气保护室的塔体的顶端有出气口；在填料室上部和喷淋室处的塔体上开有检修口，塔体外装有循环水泵，循环水泵的水泵进水口通入水箱的液面下、出水口通过水管接各喷淋装置。但是这种可在线维护的硅烷燃烧塔在清渣或者给喷淋系统填料时，必须要停机，大大影响了处理废气的进度，同时在遇到大量的废气时，单喷淋系统的设计使得废气的吸收处理不彻底，污染了环境。

由此可见，上述硅烷燃烧塔在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决硅烷燃烧塔存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的硅烷燃烧塔存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的可在线维护的硅烷燃烧塔，能够改进一般现有的可在线维护的硅烷燃烧塔，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的硅烷燃烧塔存在的缺陷，而提供一种新型结构的可在线维护的硅烷燃烧塔，所要解决的技术问题是使其可以实现在线给喷淋系统填料，并且左右喷淋室和双气路的设计，可以使得氨气的吸收更充分以及气路更加顺畅，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的可在线维护的硅烷燃烧塔，包括塔体以及设置在塔体底部的水箱，所述塔体内的顶端设置有收水器，所述塔体内设置有燃烧室、左喷淋室和右喷淋室，所述塔体内设置有将燃烧室、左喷淋室和右喷淋室相互独立的隔板，所述隔板上分别对应设置有控制交换燃烧室气体到左右喷淋室的左右气路隔断阀，所述左喷淋室和右喷淋室之间设置有控制气体交换的喷淋室隔断阀，所述燃烧室的底部设置有通向塔体外的左清渣口和右清渣口，所述燃烧室和左右清渣口之间分别对应设置有左清渣隔断阀和右清渣隔断阀，所述燃烧室处的塔体上设置有压缩多个进气口，所述水箱中的液体通过管路流入到左右喷淋室内对应设置的左喷淋系统和右喷淋系统中，所述左喷淋系统和右喷淋系统中的液体喷洒后最终流入到塔体底部的水箱中，尾气从进气口进入到塔体的燃烧室内，硅烷与通入的空气接触从而燃烧或者发生氧化反应，生成的二氧化硅粉尘落到水箱内，燃烧完的气体中的氨气则通过打开左右气路隔断阀对应进入到左喷淋室和右喷淋室内，所述水箱中的液体通过管路连接到左右喷淋室内设置的喷淋系统，喷淋系统中的液体喷洒后流入到塔体底部的水箱中，通过设置在塔体外的循环泵实现喷淋系统中的液体和水箱中的液体的循环，经过左右喷淋室中和反应后的气体最终由排气口排人大气中。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的可在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述塔体的底部设置有可以将悬浮在所述水箱液体表面的泡沫分离出来的粉尘分离系统。

前述的可在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述燃烧室处对应的塔体上设置有新风补气口和压缩空气进气口，由于硅烷与空气接触发生自燃的特点，由进气口进入燃烧室内的硅烷与压缩空气进气口的空气充分燃烧生成二氧化硅，消除了硅烷废气。