[发明专利]流体控制阀的促动器部的组装结构及由该结构形成的流体控制阀

说明书

技术领域

本发明涉及使阀芯与阀座抵接或分离来控制流体流动的流体控制阀的促动器部组装结构和由该结构形成的流体控制阀。详细地说，涉及在主体的开口部内配置有对阀芯施力的施力构件并通过盖堵塞缸体的开口部的流体控制阀的促动器部组装结构和由该结构形成的流体控制阀。

背景技术

一直以来，在半导体制造装置和液晶面板制造装置等中使用例如专利文献1中记载的药液阀。药液阀是通过阀芯与位于输入口和输出口之间的阀座抵接或分离，来控制药液从输入口向输出口的流动的流体控制阀。在图13和图14中示出了专利文献1所记载的药液阀的截面。

如图13所示，药液阀101主要由促动器芯部、堵塞缸体110的开口部的盖120、主体130和固定该药液阀101的安装板150构成，其中，促动器芯部具有缸体110、阀芯142、活塞143和弹簧141等，主体130具有阀座131、输入口132、输出口133等。

在药液阀101中，对阀芯142作用螺旋弹簧等弹簧141产生的作用力和在克服该作用力的方向上加压的操作空气AR产生的按压力，使阀芯142相对于阀座131上下运动。

在促动器芯部中，与阀芯142连接的活塞143可滑动地安装在缸体110中，弹簧141配置在位于与操作空气AR的受压面相反的一侧的活塞侧支撑面143a上。弹簧141被以支撑弹簧两端部的方式配置在活塞侧支撑面143a和堵塞缸体开口部的盖120的盖侧支撑面126a之间，以能够通过弹簧141的弹力朝向阀座131对阀芯142施力。

在制造药液阀101时，将盖120、促动器芯部、主体130和安装板150重合成一体并进行组装，如图14所示，使从盖120插入的第一螺栓160穿过缸体110、主体130与安装板150螺合进行固定。

药液阀除了制造时的装配以外，有时也要进行装配。例如，在使用后的维护时分解之后再装配。在分解作业时，没有操作空气产生的按压力作用在阀芯142上，成为通过弹力使阀芯142与阀座131抵接的状态。在该状态下，若一个一个地松缓与安装板150螺合的第一螺栓160，则促动器芯部会相对于主体130倾斜，因阀芯142产生的按压而使阀座131发生塑性变形。

为了在这样的分解时保护阀座131等，专利文献1进行了如下的改进，如图13和图14所示，在分解时，将销115插入指示器145，强制性地使阀芯142与阀座131分离，使得分解作业时的操作性良好。

专利文献1：JP特开2005-140295号公报。

发明内容

但是，在现有的药液阀101中，在制造时的装配和分解后的再装配中，在利用第一螺栓160将盖120、促动器芯部和主体130固定在安装板150上之前，通过利用第二螺栓(省略图示)预先进行螺栓紧固，而固定将弹簧141配置在活塞143上的状态下的促动器芯部的缸体110和盖120，因而存在部件数量增加、成本上升的问题。

该问题是因下面的原因产生的。即，在药液阀101的装配工序中，将活塞143、阀芯142、指示器145等组装成一体后安装在缸体110上，预先装配在活塞143的活塞侧支撑面143a上配置了弹簧141的促动器芯部作为一个单元。

然后，操作者进行使盖120、促动器芯部、主体130和安装板150重合成一体进行组装的整体总组装，但是，考虑此时的操作性和维护药液阀101时的分解期间的操作者的操作性，在整体总组装之前，预先临时组装促动器芯部和盖120。

即，将药液阀装配后的弹簧141的两端部支撑在活塞侧支撑面143a和盖侧支撑面126a之间，通过弹力朝向阀座131对阀芯142施力。弹簧141的自然长度长于装配后的弹簧长度，在用盖120堵塞缸体开口部时，使弹簧141以被强制性地收缩而比自然长度压缩了的状态收纳在药液阀101内。药液阀101中也有如下的药液阀，即，在输入口132与输出口133之间的流路上流动的药液的流量和压力大，需要与在药液的流通控制下阀芯142的关闭相当的大小的弹簧141的作用力。

这种药液阀101中，尤其是在使用弹力大的弹簧141的药液阀101中，在整体总组装盖120、促动器芯部等时，若不预先进行临时组装，则以相当大的外力使弹簧141收缩的状态直接使第一螺栓160与安装板150螺合的作业，对于操作者来说具有难度。另外，若不临时组装，则存在下面的操作方面的问题。即，在维护药液阀101时要分解药液阀101时，解除第一螺栓160与安装板150的连结。此时，已压缩的状态的弹簧141要恢复原来的形状，因而盖120和该弹簧141本身会突然弹出。