[发明专利]荧光灯

说明书

技术领域

本发明涉及一种放射紫外线区域的光的荧光灯，尤其涉及一种可获得波长200～250nm左右的发光的荧光灯。

背景技术

紫外线用于各种处理对象物的改性，或者在通过应用了光化学反应的处理来制造物质时使用。并且，例如在紫外线进行粘合剂等树脂的硬化处理、印刷基板等的曝光处理中，使用波长200nm左右的紫外线。

并且，近来在半导体的制造工艺中，在提高低介电常数膜(low-k膜)的机械强度的处理中，也使用同样波长带的紫外线。

在上述半导体的低介电常数膜(low-k膜)的制造中，近年来，因设备的高集成化，对细密布线及多层布线构造的要求越来越高，为了降低耗电的同时增加设备的处理速度，而减少层间容量，因而开始使用low-k膜材料。

因此，伴随着材料的介电常数减少的材料机械强度(弹性模量或EM)的减少变得无法忽略，从现有的热(退火)硬化处理，变为为了增大机械强度而采用照射紫外线并进行硬化处理、从而改善强度下降的方法。

并且，作为该low-k膜的强度改善所使用的紫外线，如专利文献1(特开2009-289996号公报)所示，包括大约波长200nm～300nm的发光在内的紫外线较有效，尤其是200～260nm、优选波长220～250nm的光。

专利文献1：日本特开2009-289996号公报

一直以来，作为放射大约200nm～300nm的波长区域的紫外线的灯，公知有在发光管内部封入有水银的长弧型高压水银灯。

但这种紫外线放射灯在发光管的内部封入有水银，其特性当然取决于水银的蒸发状态，因此根据使用灯的周围温度条件的不同，出现上升迟缓、或发光特性不稳定的问题。

并且，高压水银灯作为水银的共振线，主要放射代表性的250～320nm范围的光，存在low-k膜的强度改善所需的200～260nm、优选220～250nm的光输出不足的问题。

进一步，高压水银灯是在发光管内部具有电极的构造，因此通过电极中含有的放射体的枯竭状态来决定电极寿命，通常其寿命为1万小时以内，存在寿命较短、运行成本较大的问题。

因此，要求开发出波长200～260nm、优选220～250nm的光输出较大、不使用水银的使用寿命较长的光源。

发明内容

本发明鉴于以上情况，提供一种作为放电气体不使用水银、波长200～260nm的紫外线发光强度较大、换言之变换效率高的荧光灯。

为解决上述课题，本发明涉及的荧光灯中，在发光管的内表面形成有荧光体层，上述发光管的外部配置有一对电极，内部封入有包含氙气的放电气体，其特征在于，上述荧光体层具有(La、Pr)PO荧光体，该荧光体的通式表示为(La_1-X，Pr_X)PO₄，上述x在0.02～0.04的范围。

并且其特征在于，在上述发光管和荧光体层之间，形成有由软质玻璃或硬质玻璃构成的玻璃层。

进一步，其特征在于，上述发光管的内表面形成有包含焦磷酸钙(Ca₂P₂O₇)、磷酸钙(Ca₃(PO₄)₂)、焦磷酸镁(Mg₂P₂O₇)、或Ba-Na-Si-O中的任意一种的紫外线反射膜。

发明的效果

根据本发明涉及的荧光灯，能够获得使大约200nm～300nm的发光光谱有效发光，长时间开灯导致退化减少的效果。

并且，通过在发光管和荧光体层之间形成玻璃层，荧光体层牢固地与发光管结合，不会剥离、脱落。

附图说明

图1是本发明涉及的荧光灯的剖视图。

图2是图1的P部的放大剖视图。

图3是本发明的其他实施例的剖视图。

图4是本发明的荧光灯的发光光谱图表。

图5是本发明的荧光灯的累计光量图表。

具体实施方式

图1是本发明的一个实施方式涉及的荧光灯的剖视图，(A)是横向剖视图，(B)是径向剖视图。并且，图2是图1(A)的放大剖视图。

如图1所示，在由石英玻璃构成的发光管2的外周面上，一对外部电极3、4相对配置，该外部电极3、4具有向管轴方向延伸的大概带状的形状，例如由混合了银(Ag)和烧结玻璃的银膏、混合了金(Au)和烧结玻璃的金膏等导电模形成。