[发明专利]薄膜磁传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜磁传感器，包括：

具有巨磁阻效应的巨磁阻膜，以及

薄膜磁轭，每一个所述薄膜磁轭均包含软磁性材料并且与所述巨磁阻膜的两端电连接，

其中每一个所述薄膜磁轭均包括外磁轭和内磁轭，所述外磁轭包含第一软磁性材料并且设置在相对于所述巨磁阻膜的外侧；所述内磁轭包含第二软磁性材料并且设置在所述巨磁阻膜与所述外磁轭之间；

其中所述第一软磁性材料包含结晶性软磁性材料或微结晶性软磁性材料；

其中所述薄膜磁传感器是通过如下方式获得的：(1)依次形成各个所述外磁轭、所述巨磁阻膜和各个所述内磁轭，以及(2)在形成所述巨磁阻膜之前进行热处理以改善各个所述外磁轭的软磁特性；并且

其中各个所述内磁轭的长度L₂均满足下式(a)和式(b)：

L₂/t₁≥1           (a)

L₂×100/(L₁+L₂)≤50(b)

其中，t₁为各个所述外磁轭的厚度，L₁为各个所述外磁轭的长度。

2.根据权利要求1所述的薄膜磁传感器，其中各个所述内磁轭的长度L₂进一步满足下式(b’)：

L₂×100/(L₁+L₂)≤20(b’)。

3.根据权利要求1所述的薄膜磁传感器，其中所述第一软磁性材料包含选自由如下材料所构成的组中的至少一种：

(A)40％-90％Ni-Fe合金、Fe₇₄Si₉Al₁₇、Fe₁₂Ni₈₂Nb₆、Fe_75.6Si_13.2B_8.5Nb_1.9Cu_0.8、Fe₈₃Hf₆C₁₁、Fe₈₅Zr₁₀B₅合金、Fe₉₃Si₃N₄合金和Fe₇₁B₁₁N₁₈合金；

(B)40％-90％Ni-Fe合金/SiO₂多层膜；

(C)Fe_71.3Nd_9.6O_19.1纳米颗粒合金、Co₇₀Al₁₀O₂₀纳米颗粒合金和Co₆₅Fe₅Al₁₀O₂₀纳米颗粒合金；以及

(D)Co₃₅Fe₃₅Mg₁₀F₂₀纳米颗粒合金。