[发明专利]测试装置及测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及测试装置及测试方法。

背景技术

作为测试半导体电路等被测试器件的测试装置，已知有配置了多个测试模块、测试总线以及测试控制器的装置(例如参照专利文献1)。测试控制器通过测试总线控制多个测试模块，测试被测试器件。

专利文献1特开平9-89999号公报

由于多个测试模块测试的是同一个被测试器件，因而最好同步动作。在现用的测试装置中，测试控制器控制着多个测试模块的同步动作。这样就产生了测试控制器中的处理时间，因而并不理想。

发明内容

因此本说明书中包含的技术革新(新发明)的(一)侧面以提供能够解决上述课题的测试装置及测试方法为目的。该目的可通过权利要求书中的独立项中所述的特征的组合实现。此外，从属项规定本发明更加有利的具体用例。

也就是说，依照本说明书中包含的新发明涉及的装置及方法的一个用例提供一种测试装置以及该测试装置涉及的测试方法，该测试装置是测试被测试器件的测试装置，配置有：多个测试模块，其在被测试器件间传输信号；总线，其可连接多个测试模块；测试控制部，其经总线控制多个测试模块；测试模块具有在被测试器件间传输信号的测试部和控制测试部的模块控制部；各个测试模块中的模块控制部经总线与其它测试模块的模块控制部传输信号。

而上述发明概要并未全部列举本发明的必要特征，这些特征群的次级组合也可构成发明。

附图说明

图1是测试装置100的功能构成图，一并示出多个被测试器件(DUT)10。

图2是测试控制部132的动作例示图。

图3是控制接口部134的局部构成例示图。

图4是控制接口部134的局部构成的另一例示图。

图5是测试部210及被测试器件10的连接例示图。

图6是测试控制部132的另一动作例的说明图。

图7是测试模块120的构成例示图。

图8是在测试模块120间传输同步信息包的传输路径例示图。

图9是测试部210的构成例示。

具体实施方式

下面通过发明的实施方式说明本发明的(一)侧面，但下面的实施方式并不既定权利要求涉及的发明，另外，并非实施方式中说明的全部特征组合都是发明的解决手段中必须具备的。

图1是测试装置100的功能构成，一并示出多个被测试器件(DUT)10。测试装置100至少测试1个被测试器件10。也就是说测试装置100既可测试1个被测试器件10，也可并行测试多个被测试器件10。

测试装置100配置有系统控制部110、多个测试模块120、多个测点控制部130、总线140。系统控制部110与多个测点控制部130连接，控制整个该测试装置100。系统控制部110和多个测点控制部130之间例如可用通用或专用的高速串行总线连接。

各个测点控制部130可对应1个或多个被测试器件10。各个测点控制部130通过控制与对应的被测试器件10连接的1个或多个测试模块120，控制对应的被测试器件10的测试。

各个测点控制部130按照系统控制部110提供的控制命令以及测试程序等，控制对应的测试模块120。也就是说，各个测点控制部130把1个或多个测试部210作为资源使用，控制对应的被测试器件10的测试。总线140连接测点控制部130以及1个或多个测试模块120之间。

而测点控制部130也可在测试模块120中包含的各个测试部210上控制测试模块120。例如，当1个测试模块120中包含的测试部210的一部分与第1被测试器件10连接，另一测试部210与第2被测试器件10连接的情况下，也可第1测点控制部130控制与第1被测试器件10对应的测试部210，第2测点控制部130控制与第2被测试器件10对应的测试部210。即，1个测试模块120中包含的多个测试部210可被各组群内的不同测点控制部130控制。

测试模块120在对应的被测试器件之间传输信号。各个测试模块120具有多个测试部210。各个测试部210可与作为该测试装置100的测试对象的所有被测试器件10中的任意一个被测试器件10的端子连接。多个测试部210中的每一个通过在连接的被测试器件10之间传输信号测试该被测试器件10。

例如，测试模块120给被测试器件10提供具有规定的逻辑图形的测试信号，接收与该测试信号对应的表示被测试器件10的动作结果的信号。而各个测试模块120可分别设置在不同的基板上。设置在同一测试模块120中的多个测试部210可经共用的接口与总线140连接。