[发明专利]低充氦浓度氦质谱检漏方法无效
| 申请号： | 201110026335.7 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102346088A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 胡茂中;廖旭东;白国云;陈涛 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军63653部队 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 乌鲁木齐新科联专利代理事务所(有限公司) 65107 | 代理人： | 欧咏 |
| 地址： | 841700 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低充氦 浓度 氦质谱 检漏 方法 | ||
【权利要求书】：
1.低充氦浓度氦质谱检漏方法，其特征在于：装置由容器、通道型漏孔、纯氦气源、检漏仪构成；其中容器(3)的氦气(1)由隔离阀 (4)控制调节；纯氦气(7)由隔离阀 (6)控制调节；真空泵(2)由隔离阀 (5)控制调节；
步骤①关闭隔离阀 (5)、(6)处于截止状态，打开隔离阀(9)由检测仪(10)测量其系统本底；
步骤②关闭隔离阀(4)，打开隔离阀(6)，测量漏孔(8)入口处，纯氦气(7)的下漏率；
步骤③关闭隔离阀(6)、打开隔离阀(5)，抽除漏孔(8)入口端的氦气(1)，再打开隔离阀(4)测量其系统本底；
步骤④通过容器(3)进气口分步注入纯氦气(7)，使容器(3)内的氦气(1)理论浓度分别为0.5‰、1‰、3‰、5‰，对应每一浓度测量氦气(1)通过漏孔(8)的漏率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：氦气(1)是配置的气体，纯氦气(7) 为100%氦浓度的气体。
3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于：利用1‰氦浓度可使其检漏灵敏度为1.5×10-8 Pa·m3/s。
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