[发明专利]一种电子回旋共振离子源无效
| 申请号： | 201110026605.4 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102117727A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 彭士香;袁忠喜;任海涛;吕鹏南;郭之虞 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/38 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 回旋 共振 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子回旋共振离子源，包括微波系统(1)，微波窗(3)，放电室(4)、磁体、引出系统(5)、冷却水(2)、进气管(6)，其特征在于，所述放电室(4)为透明的石英玻璃制成，放电室(4)安装在微波屏蔽壳体(8)内，所述壳体(8)上开有多个观察窗(9)。
2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由多个分离的永磁环(7)组成。
3.如权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述永磁环(7)之间有2个宽度为10毫米的空隙。
4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述微波窗(3)由三片厚度为10mm的陶瓷片和一片厚度为2mm的氮化硼组成。
5.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述壳体(8)为硬铝制成。
6.如权利要求5所述的离子源，其特征在于，所述是壳体(8)为外方内圆的铝结构，其上开有多个孔。
7.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述观察窗(9)的大小为32mm×32mm。
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