[发明专利]电容型机电变换器

权利要求书

1.一种变换器，包括：

第一电极；和

第二电极，所述第二电极与第一电极相对，在第一电极和第二电极之间插入间隙，

其中，执行通过借助于产生在第一电极和第二电极之间被调制的静电吸引力以使第一电极振动来发射弹性波的发射操作和检测由于第一电极中的振动而导致的第一电极和第二电极之间的电容的变化的接收操作中的至少一个，

其中，第一电极的单位面积的电阻在相对于第二电极的可动区域和不可动区域中不同，以及

其中，可动区域中的第一电极的厚度小于或等于不可动区域中的第一电极的厚度。

2.根据权利要求1的变换器，其中，不可动区域中的电阻比可动区域中的电阻小。

3.根据权利要求1或2的变换器，

其中，第一电极被设置在由支撑部分支撑的振动膜上，以及

其中，在第一电极下方不设置支撑部分的区域中的第一电极的弹簧常数比振动膜的弹簧常数小。

4.根据权利要求1的变换器，

其中，第一电极的电极材料在可动区域和不可动区域中相同，以及

其中，可动区域中的第一电极的厚度比不可动区域中的第一电极的厚度小。

5.根据权利要求1的变换器，其中，不可动区域中的第一电极通过层叠与可动区域中的第一电极的电极材料不同的电极材料而构成。

6.根据权利要求1的变换器，其中，可动区域中的第一电极的电极材料与不可动区域中的第一电极的电极材料不同。

7.根据权利要求1的变换器，其中，在可动区域和不可动区域中，在可动区域中的第一电极不松垂的状态下，第一电极的高度相同。

8.根据权利要求1的变换器，其中，不可动区域中的第一电极的一部分填充支撑第一电极的支撑部分中的沟槽。