[发明专利]凹凸形状形成片及其制造方法、防反射体、相位差板、工序片原版以及光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种凹凸形状形成片，包括树脂层和设置在该树脂层外面的至少一部分的10nm以下的硬质层，在该硬质层形成波状的凹凸形状，其特征在于，

硬质层由金属或者金属化合物组成；

凹凸形状的平均间距为1μm以下，凹凸形状的底部的平均深度为将所述平均间距当作100％时的10％以上。

2.根据权利要求1所述的凹凸形状形成片，其中，硬质层由金属化合物组成。

3.根据权利要求2所述的凹凸形状形成片，其中，金属化合物为，从氧化钛、氧化铝、氧化锌、氧化镁、氧化锡、氧化铜、氧化铟、氧化镉、氧化铅、氧化硅、氟化钡、氟化钙、氟化镁、硫化锌、砷化镓组成的群之中选择的至少1种金属化合物。

4.根据权利要求1所述的凹凸形状形成片，其中，硬质层由金属组成。

5.根据权利要求4所述的凹凸形状形成片，其中，金属为，从金、铝、银、碳、铜、锗、铟、镁、铌、钯、铅、白金、硅、锡、钛、钒、锌、铋组成的群之中选择的至少1种金属。

6.一种防反射体，其中，该防反射体具有权利要求1～5中的任1项所述的凹凸形状形成片。

7.一种相位差板，其中，该相位差板具有权利要求1～5中的任1项所述的凹凸形状形成片。

8.一种工序片原版，该工序片原版具有权利要求1～5中的任1项所述的凹凸形状形成片；该工序片原版作为模具使用，该模具用于制造形成与该凹凸形状形成片相等的平均间距及平均深度的凹凸形状的片。

9.一种光学元件的制造方法，该方法包括以下工序：

在权利要求8所述的工序片原版中形成凹凸形状的面，涂未硬化的硬化性树脂的工序；

使该硬化性树脂硬化后，从工序片原版剥离硬化的涂膜的工序。

10.一种光学元件的制造方法，该方法包括以下工序：

在权利要求8所述的工序片原版中形成凹凸形状的面，接触片状的热可塑性树脂的工序；

将该热可塑性树脂压在工序片原版的同时，加热使其软化后，进行冷却的工序；

从工序片原版剥离冷却的片状热可塑性树脂的工序。

11.一种光学元件的制造方法，该方法包括以下工序：

在权利要求8所述的工序片原版中形成凹凸形状的面，层压凹凸形状转印用材料的工序；

从所述工序片原版剥离层压在凹凸形状的凹凸形状转印用材料，制作2次工序片的工序；

在该2次工序片中与所述工序片原版的凹凸形状相接的侧的面，涂未硬化的硬化性树脂的工序；

使该硬化性树脂硬化后，从2次工序片剥离硬化的涂膜的工序。

12.一种光学元件的制造方法，该方法包括以下工序：

在权利要求8所述的工序片原版中形成凹凸形状的面，层压凹凸形状转印用材料的工序；

从所述工序片原版剥离层压在凹凸形状的凹凸形状转印用材料，制作2次工序片的工序；

在该2次工序片中与所述工序片原版的凹凸形状相接的侧的面，接触片状的热可塑性树脂的工序；

将该热可塑性树脂压在2次工序片的同时，加热使其软化后，进行冷却的工序；

从2次工序片剥离冷却的片状热可塑性树脂的工序。

13.根据权利要求1或2所述的凹凸形状形成片，其中，树脂层为收缩层。