[发明专利]一种真空集热管及其涂层制备工艺

权利要求书

1.一种真空集热管，由玻璃内管、玻璃外管构成，其特征在于：玻璃内管外表面依次镀有AlN-Al粘结层、纯铜高红外反射层、AlN-Ti高金属吸收层、AlN-Ti低金属吸收层、AlN减反层。

2.根据权利要求1所述的一种真空集热管的涂层制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)、将清洗洁净的玻璃内管放入磁控溅射室内；

2)、磁控溅射室抽真空至5.0E-3Pa；

3)、打开氩气、氮气流量计，磁控溅射室内充入高纯氮气、氩气，启动铝靶电源，溅射1分钟20秒，在玻璃内管外表面镀一层AlN-Al粘结层；

4)、关闭氮气流量计，启动铜靶电源，溅射6分钟，镀一层纯铜高红外反射层；

5)、停止铜靶电源，打开氮气流量计，启动铝靶和钛靶电源，溅射4分钟30秒，镀一层AlN-Ti高金属吸收层；

6)、降低钛靶电流，改变氮气流量，溅射5分钟40秒，镀一层AlN-Ti低金属吸收层；

7)、停止钛靶电源，溅射5分钟，镀一层AlN减反层。