[发明专利]薄膜沉积设备

说明书

本申请要求于2010年1月11日提交到韩国知识产权局的第10-2010-0002381号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用被包含于此。

技术领域

本发明的各方面涉及一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单地用于大规模生产大尺寸的显示装置并提高生产良率(manufacturing yield)。

背景技术

与其它显示装置相比，有机发光显示装置视角更大、对比度特性更好并且响应速度更快，因此有机发光显示装置作为下一代显示装置而备受瞩目。有机发光显示装置通常具有堆叠结构，所述堆叠结构包括阳极、阴极以及置于阳极和阴极之间的发射层。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合并由此发光时，所述装置显示彩色图像。然而，这种结构难以实现高发光效率。因此，在发射层和每个电极之间可选择地另外设置中间层。中间层的示例包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等。

此外，实际上很难在诸如发射层和中间层的有机薄膜中形成精细图案。因此，红色发光效率、绿色发光效率和蓝色发光效率根据有机薄膜而改变。出于这些原因，通过利用传统的薄膜沉积设备在诸如5G或更大尺寸的母玻璃的大基底上形成有机薄膜图案是不容易的。因此，难以制造驱动电压、电流密度、亮度、色纯度、发光效率、寿命特性令人满意的大型有机发光显示装置。因此，在这方面需要改善。

有机发光显示装置包括设置在彼此相对布置的第一电极和第二电极之间的中间层，所述中间层包括发射层。中间层、第一电极和第二电极可以利用各种方法形成，例如，利用沉积方法。当利用沉积方法来制造有机发光显示装置时，为了形成具有期望图案的薄膜，具有与待形成的薄膜的图案相同的图案的精细金属掩模(FMM)被设置为紧密地接触基底，并且在FMM上沉积薄膜材料。

发明内容

本发明的各方面提供一种可被容易地制造的薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单地应用于大规模生产大尺寸的显示装置并提高了生产良率和沉积效率。

根据本发明的方面，提供一种用于在基底上形成薄膜的薄膜沉积设备，所述设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙，其中，在基底或薄膜沉积设备相对于彼此沿第一方向的移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。

根据本发明的方面，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片可通过连接构件彼此连接。

根据本发明的方面，连接构件可引导被排出的沉积材料的运动。

根据本发明的方面，连接构件可密封沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间，使所述空间与外部空气分离。

根据本发明的方面，薄膜沉积设备可与基底分开预定距离。

根据本发明的方面，当基底或薄膜沉积设备相对于彼此沿第一方向运动的同时，从薄膜沉积设备排出的沉积材料可被连续地沉积在基底上。

根据本发明的方面，薄膜沉积设备的图案化缝隙片可比基底小。

根据本发明的方面，薄膜沉积设备还可包括设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的校正板，以阻挡从沉积源排出的沉积材料中的至少一部分。

根据本发明的方面，校正板可被设置成使得形成在基底上的薄膜在整个基底上可具有恒定的厚度。

根据本发明的方面，校正板的高度可以随着远离图案化缝隙片的中间部分而逐渐减小。

根据本发明的方面，校正板可被形成为具有圆弧形状或者余弦曲线形状。

根据本发明的方面，校正板可被形成为在图案化缝隙片的中间部分阻挡的沉积材料比在图案化缝隙片的端部阻挡的沉积材料多。

根据本发明的方面，所述多个图案化缝隙可被形成为具有彼此不同的长度。

根据本发明的方面，所述多个图案化缝隙可被设置成使得形成在基底上的薄膜在整个基底上可具有恒定的厚度。

根据本发明的方面，沉积在基底上的沉积材料的量可根据图案化缝隙的长度被控制。

根据本发明的方面，位于图案化缝隙片的中间部分的图案化缝隙的长度短于位于图案化缝隙片的端部的图案化缝隙的长度。

根据本发明的方面，多个沉积源喷嘴可以以预定角度倾斜。

根据本发明的方面，所述多个沉积源喷嘴可包括布置在沿第一方向形成的两行中的沉积源喷嘴，在所述两行中的沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。