[发明专利]含有表面活性剂的处理溶液

权利要求书

1.一种避免多个基底表面上的显影图案被损坏的方法，该方法包括：

提供一个第一基底，其包括显影于其表面上的光致抗蚀剂图案；

制备处理溶液，其包括10ppm-约10,000的至少一种式(Ⅸa)、(Ⅸb)、(Ⅸc)、(Ⅹa)、(Ⅹb)、(Ⅹc)或(Ⅹd)所示的表面活性剂；

其中，R、R₁、R₄和R₁₂各自独立地为具有3-25个碳原子的直链、支链或环状烷基；R₂为氢原子，或具有1-5个碳原子的直链、支链或环状烷基；i、m和n各自独立地为0-20的数；

使第一基底与处理溶液接触；

确定第一基底上的处理溶液的表面张力和接触角；

用接触角的余弦值乘以表面张力以得到处理溶液的附着张力值；

提供多个基底，其中该多个基底中的每个基底都包括显影于其表面上的光致抗蚀剂图案；和

如果处理溶液的附着张力值为30或更低，则使该多个基底与处理溶液接触。

2.权利要求1的方法，其中制备步骤、第一接触步骤、确定步骤和相乘步骤重复进行直至附着张力值为30或更小。

3.权利要求1的方法，其中第二接触步骤中的多个基底的表面用去离子水冲洗液润湿。

4.权利要求1的方法，其中多个基底的表面用显影液润湿。