[发明专利]电动真空阀

权利要求书

1.一种电动真空阀，包括：主体部，具有第一端口和第二端口、连接该第一端口和该第二端口的阀室及形成于该阀室的阀座；进给螺纹件，与步进电动机连接；轴，与该进给螺纹件螺合；进给螺纹机构，由该螺纹件和该轴构成；防旋转单元，防止该轴的旋转；阀芯，安装在该轴的前端；及复原弹簧，向与该阀芯和该阀座抵接的方向施力，其特征在于，

在停电时，在步进电动机的定子和转子间产生定位转矩，

所述复原弹簧的推力大于通过所述进给螺纹机构将所述定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。

2.如权利要求1所述的电动真空阀，其特征在于，

所述轴和所述复原弹簧由波纹管覆盖。

3.如权利要求2所述的电动真空阀，其特征在于，

所述波纹管的所述轴侧为大气压且所述阀室内为真空压力时，

所述复原弹簧的推力和由所述真空压力向所述阀芯产生的推力之和为通过所述进给螺纹机构将所述定位转矩变换而成的阻力的3倍以上。

4.如权利要求1～3中任一项所述的电动真空阀，其特征在于，

通过所述进给螺纹机构将用于使所述阀芯打开的所述步进电动机的驱动转矩变换而成的推力，相对于所述复原弹簧的推力和在所述第一端口侧为真空状态且所述第二端口侧为大气压时向所述阀芯产生的推力之和为3倍以上。