[发明专利]基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置无效
| 申请号： | 201110032242.5 | 申请日： | 2011-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102053385A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 陈旭远;石云波;唐国先;刘俊;薛晨阳;唐军;徐美芳;党旭;冯楠 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B6/125;G02F1/01 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 14100 | 代理人： | 骆洋 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 激光 光源 用散斑 抑制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置，其特征在于：包括应用MEMS加工工艺在玻璃基底（1）上加工获得的平面光波导分路器（2），以及置于平面光波导分路器（2）输出波导侧、用以将平面光波导分路器（2）输出光束汇聚的汇聚透镜（3），所述平面光波导分路器（2）为1×N结构的平面光波导分路器，N≥2，且平面光波导分路器（2）的各输出波导上分别集成有相位调制装置（4）。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置，其特征在于：所述1×N结构的平面光波导分路器由若干个Y分支结构分路器芯件构成，部分或全部分路器芯件的输出波导上集成有相位调制装置（4）。
3.根据权利要求1或2所述的基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置，其特征在于：所述相位调制装置（4）采用MEMS随机散射屏。
4.根据权利要求1或2所述的基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置，其特征在于：所述相位调制装置（4）采用由具有电光效应特性的透明材料、以及为透明材料提供交变电场的电场发生装置构成的MEMS电控式相位调制装置。
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