[发明专利]触摸板传感器

说明书

技术领域

本发明涉及具有透明导电膜和与其连接的布线的触摸板传感器。

背景技术

配置在图像显示装置的前表面，作为与图像显示装置一体化的输入开关使用的触摸板传感器，由于使用方便，而在银行的ATM和售票机、导航设备、PDA、复印机的操作画面等广泛的领域使用。其输入点的检测方式可以例举出电阻膜方式、静电容量方式、光学式、超声波表面弹性波方式、压电式等。其中，电阻膜方式由于成本低廉结构简单等理由而最为被广泛使用。

电阻膜方式的触摸板传感器主要由上部电极、下部电极和后部构成，构成上部电极的基板(例如薄膜基板)上设置的透明导电膜，和构成下部电极的基板(例如玻璃基板)上设置的透明导电膜隔着隔离物相对而构成。这种构成的触摸板传感器中的上述薄膜面在由手指和笔等触摸时，上述两透明导电膜接触，经透明导电膜的两端的电极电流流动，通过测定上述各自的透明导电膜的电阻产生的分压比，检测被触摸的位置。

在制造上述触摸板传感器的工艺中，用于连接透明导电膜和控制电路的拉引布线和连接透明导电膜的金属布线等的布线，通常通过喷墨法或其他的印刷方法印刷银膏等的导电性膏和导电性墨而形成。但是，由纯银或银合金构成的布线和玻璃或树脂等的密接性差，另外，在和外部装置的连接部分中，在基板上凝集，从而存在导致电阻增加和短线等的不良的问题。

另外，触摸板传感器是感知人的手指等的按压的传感器，根据接触时所施加的应力，一时会有微小变形。由于接触板的重复使用，该微小变形反复产生，对布线也反复施加应力。由此，对上述布线特别是要求耐久性(对应力的耐性)。但是，使用由纯银或银合金构成导电性膏形成的布线难以说上述耐久性是充分的，在触摸板的使用中布线容易损伤。布线损伤时，该布线的电阻变大，电压下降发生，触摸板传感器的位置检测的精度容易下降。另外，采用笔触方式时，需要上述布线的窄间距化，但使用膏时通过涂布法形成，因此，难以窄间距化。

另外，还考虑到电阻率充分低的纯Al适用于布线材料。但是，布线材料使用纯Al时，触摸板传感器的透明导电膜和纯Al膜之间形成绝缘性的氧化铝，发生不能确保导电性的问题。因此，为了防止纯Al的氧化确保导电性，提出了如下方法：将由Mo、Ti等的高熔点金属构成的阻碍层设在透明导电膜和纯Al膜之间作为基底层使用，或作为纯Al的替代使用含有耐热性等优异的Nd的Al-Nd合金。另外，本申请人在专利文献1中公开了即使和透明导电膜直接连接也显示低电阻，并且，作为经时的电阻增加和短线难以发生的Al膜，含有规定量的Ni和/或Co的Al-Ni/Co合金膜(单层的布线材料)。

专利文献1特开2009-245422号公报

发明内容

本发明的目的在于提供特别是相对于压入荷重等的纵向的耐久性优异，难以发生断线或经时的电阻增加，可靠性高的触摸板传感器。

解决上述课题的本发明的触摸板传感器具有透明导电膜和与所述透明导电膜连接的布线，其中，所述布线以从基板侧的顺序，由高熔点金属膜、Al合金膜、和高熔点金属膜构成，所述Al合金膜含有0.05～1原子％的稀土元素，并且，硬度为2～3.5GPa，在Al合金组织中存在的晶界三重点的密度为2×10⁸个/mm²以上。

在本发明的优选实施方式中，所述稀土元素是从Nd、Gd、La、Y、Ce、Pr和Dy构成的群中选出的一种以上的元素。

在本发明的优选实施方式中，所述透明导电膜由氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)构成。

根据本发明，触摸板传感器作为触摸板传感器用布线，使用在含有稀土元素的Al合金膜的上和下配置有高熔点金属膜的布线材料，其中，适当地控制上述Al合金膜的硬度和晶界三重点密度，因此，能够提供特别是相对于压入荷重等的纵向的耐久性优异，难以发生断线或经时的电阻增加，可靠性高的触摸板传感器。本发明对各种触摸板有效，例如可以适用于银行等的金融机构的ATM、车站和饭店等的自动售货机等的按压画面中表示的部分进行操作的接触式触摸板传感器。

具体实施方式