[发明专利]一种平动光栅光阀傅里叶微型光谱仪

权利要求书

1.一种平动光栅光阀傅里叶微型光谱仪，其特征在于所述光谱仪包含有光源（1）、样品池（2）、准直成像系统（3）、平动光栅光阀阵列（4）和单探测器（5）；所述样品池位于光源（1）的出射光路上，所述准直系统（3）位于样品池（2）之后的光路上，所述平动光栅光阀阵列（4）位于准直成像系统（3）出射光之后，所述单探测器（5）位于平动光栅光阀阵列（4）的反射光经过准直系统（3）后的二次出射光路之后；

所述光源（1）发出的光为复色光，复色光通过样品池（2）后，经由准直成像系统（3）准直，进入平动式光栅光阀阵列（4），实现复色光波面调制，调制光二次经过准直成像系统（3），成像在单探测器（5）上，进而测出能量谱；

所述平动光栅光阀阵列（4）是通过静电驱动下拉光栅光阀上表面，连续整体改变平动光栅光阀上下表面间高度差，所述复色光进入平动光栅光阀阵列（4）后，在任一高度差下，光波都可以被光栅上下表面分割为相干的两束光，并且两束光之间形成稳定的干涉条纹，利用光栅光阀的调制特性，改变高度差，不同高度差下的干涉光谱信号可以在成像位置由单探测器输出响应电信号，再经信号处理电路对电信号进行采样，采样点位于每个改变高度差之后形成稳定干涉条纹的时刻，并与驱动信号时序相匹配，以区分不同下拉电压对应的高度差；对该电信号采用傅里叶光谱变换算法进行处理之后，通过傅里叶逆变换还原光谱信息，获得入射光的光谱。

2.根据权利要求1所述平动光栅光阀傅里叶微型光谱仪，其特征在于：所述平动光栅光阀阵列（4）的驱动电压和下拉距离为非线性关系，采用相位误差修正法，对下拉和回复过程的光程差进行算法补偿，δ₁为修正后的光程差：

其中d为动镜移动距离，通过实验拟合后，得到移动距离和光程变化量间关系δ(d)然后对光程差进行校正，得到能谱与入射功率谱修正后关系。