[发明专利]一种发光器件表面胶体的粗化方法有效
申请号: | 201110033847.6 | 申请日: | 2011-01-31 |
公开(公告)号: | CN102157637A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 江忠永;傅文越;邵铁风 | 申请(专利权)人: | 杭州美卡乐光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 韩介梅 |
地址: | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光 器件 表面 胶体 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种发光器件表面胶体的粗化方法,其特征是该发光器件为表面贴装发光器件,在发光器件点胶固化后的表面胶体进行等离子气体条件下的干法刻蚀,使胶体表面粗糙度为0.1um-5um。
2.根据权利要求1所述的发光器件表面胶体的粗化方法,其特征是采用的等离子气体包括物理轰击性气体和化学腐蚀性气体。
3.根据权利要求1或2所述的发光器件表面胶体的粗化方法,其特征是等离子气体产生办法包括:单射频产生等离子气体,DC产生等离子气体,双射频产生等离子气体。
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