[发明专利]增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器

权利要求书

1.一种增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器，包括压电薄膜谐振器、紫外光反射膜和透明导电膜，其特征在于，具有紫外光反射膜(4)和作为上电极的透明导电膜(6)，从下向上依次设置基底(1)、声波布拉格反射层(2)、金属下电极(3)、紫外光反射膜(4)、压电薄膜(5)和透明导电膜(6)。

2.根据权利要求1所述的增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器，其特征是，所述的压电薄膜(5)为掺杂镁的氧化锌材料，其优选的厚度为1-1.5微米，镁的掺杂浓度为1％至3％。

3.根据权利要求1所述的增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器，其特征是，所述的紫外光反射膜(4)为氟化镁或氮化铝薄膜，其厚度为所需测量的紫外光中心波长的二分之一。

4.根据权利要求1所述的增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器，其特征是，所述的透明导电膜(6)为掺杂铝的氧化锌材料，其厚度为所需测量的紫外光中心波长的四分之一，铝的掺杂浓度为1％至10％。