[发明专利]清洁风扇节能系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洁设备，特别是一种用以降低滤网风扇单元的耗电量的清洁风扇节能系统。

背景技术

在半导体或面板工艺中，大量的工艺均在基板上进行。为了避免在反应进行中微粒或是落尘对于基板造成污染，目前大都在储存基板的腔室中安装有多个滤网风扇单元，通过滤网风扇单元送出的气流避免微粒或落尘附着在基板表面，同时也可以一并吹除在运输过程中粘附于基板上的灰尘，以确保工艺可靠度。

滤网风扇单元包含有风扇以及设置于风扇入风口的滤网，空气先经由滤网过滤后，此清洁的空气再由风扇吹向基板以避免微粒或是落尘附着在基板上。现在的滤网风扇单元多是在腔室中不间断的连续运转。然而，随着环保意识的发展，此种不间断的运转方式会耗费许多电能而无法达到节能的效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种清洁风扇节能系统，用以降低滤网风扇单元的耗电量。

为了实现上述目的，本发明提供了一种清洁风扇节能系统。清洁风扇节能系统应用于腔室中，腔室包含有多个卡匣库格。清洁风扇节能系统包含多个感测组件、多个滤网风扇单元，以及多个控制单元。感测组件设置于卡匣库格中，每一感测组件用以检测是否有卡匣进入对应的卡匣库格之中。滤网风扇单元设置于卡匣库格的一端。控制单元分别连接感测组件与滤网风扇单元，以根据感测组件的信号控制滤网风扇单元，其中每一滤网风扇单元仅在对应的感测组件检测到卡匣进入卡匣库格后才会运作。

腔室包含一通道，卡匣库格堆叠于通道两侧，清洁风扇节能系统还包含设置于通道顶端的中央风扇。每一卡匣库格包含相对的入口端与末端，滤网风扇单元设置于末端。滤网风扇单元包含滤网与风扇，滤网设置于风扇的入风口。感测组件可为接触开关，接触开关分别设置于卡匣库格的末端。感测组件可为光电传感器，感测组件光发射器与光接收器，光发射器与光接收器分别设置于卡匣库格的相对两侧壁上。清洁风扇节能系统还包含供电单元，供电单元分别与滤网风扇单元连接。清洁风扇节能系统还包含数据库单元，数据库单元的数据传送至控制单元。

本发明的技术效果在于：清洁风扇节能系统可以透过安装在卡匣库格中的感测组件，感测卡匣库格中是否放置有卡匣，此感测信号可以传送至控制单元中，以在卡匣库格中放置有卡匣时开启对应的滤网风扇单元，以及在卡匣库格中未放置有卡匣时关闭对应的滤网风扇单元，以实现节省能源的目的。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明清洁风扇节能系统第一实施例的侧视图；

图2为本发明的清洁风扇节能系统第一实施例的框图；

图3为本发明的清洁风扇节能系统第二实施例的局部示意图；

图4为本发明的清洁风扇节能系统第三实施例的局部示意图；

图5为本发明的清洁风扇节能系统第四实施例的框图。

其中，附图标记

100腔室            110卡匣库格

112入口端          114末端

120卡匣            121第一侧壁

122凸肋            123第二侧壁

125第三侧壁        127第四侧壁

130基板            140感测组件

142光发射器        144光接收器

150滤网风扇单元    151入风口

152风扇            153出风口

154滤网          160控制单元

170通道          180中央风扇

190供电单元      200管理单元

210数据库单元    220显示面板

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

参照图1，其为本发明清洁风扇节能系统第一实施例的截面图。清洁风扇节能系统为应用在一腔室100之中。腔室100包含有多个卡匣库格110，每一卡匣库格110用以容置至少一卡匣120。卡匣120用以容置多个基板(图未示)。清洁风扇节能系统包含有多个感测组件140、多个滤网风扇单元150，以及多个控制单元160。其中感测组件140设置于卡匣库格110中，滤网风扇单元150设置于卡匣库格110的一端。控制单元160则是分别连接感测组件140与滤网风扇单元150。