[发明专利]托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法

权利要求书

1.一种托盘式基板输送系统，是使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，其特征在于，包括：

第一托盘，能够装载上述基板；

加压机构，在上述基板被装载在上述第一托盘上时通过对该基板的端面施加压力而将该基板保持在上述第一托盘上；

第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸；

输送机构，在从水平地配置被装载在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，输送安装有上述第一托盘的上述第二托盘。

2.一种基板处理装置，其特征在于，

具有权利要求1所述的托盘式基板输送系统。

3.一种成膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

将基板装载到第一托盘上；

通过对被装载在上述第一托盘上的上述基板的端面施加压力而将上述基板保持在上述第一托盘上；

将保持有上述基板的第一托盘安装到第二托盘上；

在从水平地配置被保持在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，将安装有上述第一托盘的上述第二托盘输送到腔室内；

在上述腔室内，对被保持在由上述第二托盘输送且与该第二托盘一体化的上述第一托盘上的基板实施规定的处理。

4.一种电子装置的制造方法，其特征在于，

包括权利要求3所述的成膜方法。

5.一种托盘，是用于保持并输送基板的托盘，其特征在于，包括：

第一托盘，能够装载基板；

加压机构，设于上述第一托盘上，具有在上述基板被装载在该第一托盘上时与该基板的端面接触的面，该加压机构构成为利用该与该基板的端面接触的面对上述基板的端面施加压力，且上述与该基板的端面接触的面能够向上述第一托盘的内侧和外侧位移；

第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸。