[发明专利]一种多晶硅碳头料分离腐蚀液及分离方法无效
| 申请号： | 201110037127.7 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102121106A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王体虎;蔡延国;姚明辉;阮万魁;施正荣 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C01B33/021 |
| 代理公司： | 西宁金语专利代理事务所 63101 | 代理人： | 哈庆华 |
| 地址： | 810007 青海省西宁市*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅碳头料 分离 腐蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅碳头料分离腐蚀液，其特征在于在其组分中按重量份含有：高纯硫酸溶液55～97，高锰酸钾2～30，钠盐1～15。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅碳头料分离腐蚀液，其特征在于所述的高纯硫酸溶液质量浓度为95～98%。
3.如权利要求1所述钠盐包括的是乙酸钠、氯化钠、硫酸钠三种之一。
4.一种多晶硅碳头料的分离方法，其特征在于含有以下步骤：一、配制分离液，将高纯硫酸溶液55～97重量份，高锰酸钾2～30重量份，钠盐1～15重量份混合并充分搅拌，形成混合液；二、取碳头料投入此混合液中浸泡1.5h～16h；三、取出碳头料、洗净后用重量比为硝酸：氢氟酸 = 5:1的洗涤液清洗其表面酸斑，时间控制为：1～3 min；四、将处理后的料用纯水超声波清洗30min，烘干。
5.如权利要求4所述的一种多晶硅碳头料的分离方法，其特征在于所述的高纯硫酸溶液质量浓度为95～98%，硝酸溶液质量浓度为60～70%，氢氟酸质量浓度为40%。
6.如权利要求4或5所述的一种多晶硅碳头料的分离方法，其特征在于在步骤一中混合时将高锰酸钾少量、多次加入高纯硫酸中，添加期间需要搅拌；再将钠盐少量多次加入上述所得溶液，并充分搅拌。
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