[发明专利]盐以及用于制备酸生成剂的方法无效

专利信息
申请号: 201110038165.4 申请日: 2011-02-12
公开(公告)号: CN102167684A 公开(公告)日: 2011-08-31
发明(设计)人: 吉田勋;市川幸司 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: C07D233/60 分类号: C07D233/60;C07D233/56;C07D333/46;C07C381/12;C07C25/18;C07C17/35;C07C309/17;C07C303/32;G03F7/004
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 柳春琦
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 以及 用于 制备 生成 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种适合用于制备酸生成剂的中间体的盐以及用于制备酸生成剂的方法。

背景技术

用于采用光刻法的半导体微型制造的化学放大型正性抗蚀剂组合物含有酸生成剂,该酸生成剂通过辐照产生酸。

US 2006/0194982A1公开了一种用于制备由式(B1-1)表示的酸生成剂的方法,所述方法包括如下所述,将由式(H1-5)表示的盐与由式(H1-4)表示的盐反应,所述由式(H1-4)表示的盐通过将由式(H1-2)表示的盐与由式(H1-3)表示的化合物反应而获得。

在US 2006/0194982A1所公开的方法中,由式(H1-4)表示的盐被用作用于制备酸生成剂的中间体。

发明内容

本发明的目的是提供一种适合用于制备酸生成剂的中间体的新颖的盐,以及提供一种用于制备酸生成剂的方法。

本发明涉及下面方面:

<1>一种由式(I0)表示的盐:

其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基,L10表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17烃基,m表示1或2,Zm+表示m价的有机或无机阳离子;

<2>根据<1>的盐,其中m为1;

<3>根据<1>或<2>的盐,其中L10是其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17饱和烃基;

<4>根据<1>或<2>的盐,其中L10是-CO-;

<5>根据<1>的盐,其中由式(I0)表示的盐是由式(I)表示的盐:

其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基,L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17饱和烃基,并且Z+表示一价有机或无机阳离子;

<6>根据<5>的盐,其中L1是-CO-;

<7>根据<5>或<6>所述的盐,其中Z+是三芳基锍阳离子或碱金属阳离子;

<8>根据<5>或<6>所述的盐,其中Z+是三芳基锍阳离子;

<9>一种用于制备由式(I)表示的盐的方法:

其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基,L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17饱和烃基,并且Z+表示一价有机或无机阳离子,所述方法包括:

将由式(II)表示的盐与羰基二咪唑反应,

其中Q1、Q2、L1和Z+的定义与上述定义相同;

<10>一种用于制备由式(B1)表示的盐的方法:

其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基,L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17饱和烃基,L2表示-O-或-HR3-,其中R3表示氢原子或C1-C4烷基,X1表示单键或C1-C6烷烃二基,Y表示可以具有一个或多个取代基的C1-C18烷基,或可以具有一个或多个取代基的C3-C18饱和环烃基,并且所述烷基和所述饱和环烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-、-SO2-或-CO-代替,并且Z′+表示一价有机阳离子,所述方法包括:

将由式(I′)表示的盐与由式(IV)表示的化合物反应,

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