[发明专利]一种离子植入机用离子束监测装置无效
| 申请号： | 201110038837.1 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102646567A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈雪峰;王冬晶 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 植入 离子束 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子植入机用离子束监测装置，包括有法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯有多个，形成规则排列的矩阵，用以监测离子植入机腔体内多个位置的离子束。
2.根据权利要求1所述的离子植入机用离子束监测装置，其特征在于，所述矩阵的水平方向和垂直方向分布有相同数量的法拉第杯，形成N×N矩阵。
3.根据权利要求2所述的离子植入机用离子束监测装置，其特征在于，所述矩阵为16×16矩阵。
4.根据权利要求1至3任一项所述的离子植入机用离子束监测装置，其特征在于，所述离子植入机用离子束监测装置用于确定离子束的高度和宽度。
5.根据权利要求1至3任一项所述的离子植入机用离子束监测装置，其特征在于，所述离子植入机用离子束监测装置用于确定离子束在水平方向上的分布。
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