[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法有效
申请号: | 201110039006.6 | 申请日: | 2011-02-15 |
公开(公告)号: | CN102162996A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 藤田充 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/00;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法 | ||
1.一种负型感光性树脂组合物,其含有下述物质:
100质量份(A)具有下述通式(1)所示的结构的聚酰亚胺前体,
[化学式1]
式中,X1为4价有机基团,Y1为2价有机基团,n为2~150的整数,R1和R2各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的1价有机基团、或碳数1~4的饱和脂肪族基团,其中,R1和R2这两者不同时为氢原子,
[化学式2]
式中,R3、R4和R5各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,且m为2~10的整数;
1~20质量份(B)光聚合引发剂;以及
0.01~10质量份(C)具有1个以上选自由羟基、醚基和酯基组成的组中的官能团的碳数2~30的单羧酸化合物。
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(C)单羧酸化合物为选自由下述通式(3)所示的化合物组成的组中的至少1种单羧酸化合物,
[化学式3]
式中,R6为氢原子或碳数1~3的有机基团,R7为氢原子、碳数1~3的烷基或R8,在此,R8为下述通式所示的基团,R9为氢原子、碳数1~3的烷基或碳数1~3的烷基羰基,
[化学式4]
式中,Z1为羟基或碳数1~3的烷氧基,j为0~5的整数,且Z1在存在多个的情况下,彼此可以相同也可以不同。
3.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(C)单羧酸化合物为选自由下述通式(4)所示的化合物组成的组中的至少1种单羧酸化合物,
[化学式5]
式中,R10为氢原子或碳数1~3的有机基团,R11为氢原子、碳数1~3的烷基或R12,在此,R12为下述通式所示的基团,
[化学式6]
式中,Z2为羟基或碳数1~3的烷氧基,k为0~5的整数,且Z2在存在多个的情况下,彼此可以相同也可以不同。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的负型感光性树脂组合物,其进一步含有0.05~10质量份(D)有机钛化合物。
5.根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(D)有机钛化合物为选自由钛螯合物、四烷氧基钛化合物和茂钛化合物组成的组中的至少1种化合物。
6.一种固化浮雕图案的制造方法,其包括下述工序:
(1)通过将权利要求1~5中的任一项所述的负型感光性树脂组合物涂布于基板上而在该基板上形成感光性树脂层的工序;
(2)对该感光性树脂层进行曝光的工序;
(3)对该曝光后的感光性树脂层进行显影而形成浮雕图案的工序;
(4)通过对该浮雕图案进行加热处理而形成固化浮雕图案的工序。
7.一种半导体装置,其具有利用权利要求6所述的制造方法得到的固化浮雕图案而成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成电子材料株式会社,未经旭化成电子材料株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110039006.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:阻燃水溶性聚氨酯树脂及其制备方法
- 下一篇:扩径引流型流体聚流集能装置和方法