[发明专利]气浮式大口径平面光学元件抛光夹具

权利要求书

1.气浮式大口径平面光学元件抛光夹具，其特征在于设有连接轴、底座、密封筒、气囊、气垫、橡胶薄膜、4个夹爪以及压力控制装置；连接轴一端与底座上表面连接，连接轴另一端外接机床抛光旋转轴，底座下表面连接密封筒，气囊、气垫和橡胶薄膜从上至下依次设在密封筒内，气囊上表面进气口经设于底座上的通气孔连接压力控制装置，气囊下表面与气垫上表面紧贴，底座上设有4个夹爪固定槽，4个夹爪分别固定在4个夹爪固定槽内，每个夹爪固定槽上设有至少2个用于装卸夹爪或使夹爪定位工件的螺纹孔。

2.如权利要求1所述的气浮式大口径平面光学元件抛光夹具，其特征在于所述夹爪为方形夹爪或圆环形夹爪。

3.如权利要求1所述的气浮式大口径平面光学元件抛光夹具，其特征在于所述底座下表面连接密封筒，是采用底座下表面通过螺纹连接密封筒。

4.如权利要求1所述的气浮式大口径平面光学元件抛光夹具，其特征在于所述气囊为上下表面平整的气囊。

5.如权利要求1所述的气浮式大口径平面光学元件抛光夹具，其特征在于所述气垫为圆柱形气垫。