[发明专利]碳纳米管薄膜电离式传感器及两组份气体浓度的检测方法

权利要求书

1.碳纳米管薄膜电离式传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底以及设有透气孔的电极构成；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。

2.根据权利要求1所述的碳纳米管薄膜电离式传感器，其特征在于：所述三个电极中相邻两个电极的极间距为30～250μm；所述第一电极与第二电极极板正对面积为0.01～170mm²，第二电极与第三电极极板正对面积为0.01～190mm²。

3.根据权利要求1所述的碳纳米管薄膜电离式传感器，其特征在于：所述第一电极的电极表面的透气孔为1～4个，在电极内侧表面附着的金属膜基底上生长或者丝网印刷有碳纳米管薄膜；

所述第二电极引出极中心设有1～4个引出孔；

所述第三电极收集极盲孔与第二电极的引出孔相对应，盲孔的数量为1～4个。

4.基于碳纳米管薄膜电离式传感器阵列检测两组份混合气体浓度的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

(1)选择三个电极中相邻两个电极的极间距为30～250μm的碳纳米管薄膜电离传感器；

(2)按照待测两组份混合气体中的组份气体数量，分别将设定的两个不同极间距的碳纳米管薄膜电离式气体浓度传感器置于待测两组份混合气体中，并同时将两个不同极间距的碳纳米管薄膜电离式温度传感器和湿度传感器置于待测两组份混合气体中，由所有传感器组成传感器阵列；

(3)分别对步骤(2)的两个碳纳米管薄膜电离式气体浓度传感器、温度、湿度传感器的第一电极加载电压为0V，第二电极加载电压2～200V，第三电极加载电压1～180V；

(4)在待测两组份混合气体两个组份浓度、温度和湿度测量范围内，对应不同的浓度、温度和湿度标定值，分别测量步骤(2)中所有传感器输出的气体放电离子流值；

(5)将步骤(4)中在浓度、温度和湿度测量范围内测得的所有传感器输出离子流值，与相应的两组份混合气体两组份浓度、温度标和湿度标定值，组成不同的实验标定样本，然后采用分段插值技术对实验标定样本进行插值，获得插值数据，得到插值样本，并根据包含了实验标定样本及插值样本的所有样本组建两组份混合气体浓度测量数据库；

(6)采用数据融合技术，构建数据融合仪，建立气体浓度传感器、温度传感器及湿度传感器的测量模型；以两组份混合气体浓度测量数据库中的数据作为数据融合仪的输入样本和期望输出样本，并以量程范围内不同的数据分别作为数据融合仪的训练样本和检验样本进行训练和检验，检验结果满足实测误差要求时，数据融合仪输出碳纳米管薄膜电离式传感器阵列的两组份混合气体浓度准确测量模型；

(7)将碳纳米管薄膜电离式气体浓度传感器、温度传感器和湿度传感器实测时输出的离子流值输入步骤(6)获得的两组份混合气体浓度准确测量模型，该模型输出两组份混合气体两个组份浓度的准确测量值。

5.根据权利要求4所述的基于碳纳米管薄膜电离式传感器阵列检测两组份混合气体浓度的方法，其特征在于：所述三个电极结构的碳纳米管薄膜电离式传感器中，第二电极电位高于第一电极电位，第三电极电位低于第二电极电位且高于第一电极电位。

6.根据权利要求4所述的基于碳纳米管薄膜电离式传感器阵列检测两组份混合气体浓度的方法，其特征在于：所述建立两组份混合气体浓度测量数据库，是将实验标定数据与插值数据组成数据库，将传感器阵列中各传感器输出的离子流值及其插值数据作为输入样本，将两组份混合气体中两个组份浓度、温度和湿度标定值及其插值数据作为期望输出样本。