[发明专利]X射线检查装置及X射线检查方法

权利要求书

1.一种X射线检查装置，其利用多个检测面来接收透过对象物的检查对象区域的X射线，由此对上述检查对象区域的断层图像执行重建处理，其特征在于，

具有：

标准条件存储单元，其用于存储上述X射线检查装置的动作条件，该动作条件是为了检查对象物而使用的标准的动作条件，

再检查条件存储单元，其用于存储与上述标准的动作条件不同的一个以上的再检查动作条件，该再检查动作条件用于上述对象物为不合格品时的再检查，

X射线检测机构，其用于在上述多个检测面进行拍摄，

X射线检测机构移动单元，其用于使上述X射线检测机构移动，

对象物移动单元，其用于使上述对象物移动，

X射线输出单元，其用于输出X射线，以使透过上述检查对象区域的X射线入射到位于一个检测面的上述X射线检测机构，

控制单元，其用于对上述X射线检查装置的动作进行控制；

上述控制单元具有：

判定单元，其用于基于上述标准的动作条件，判定上述对象物是合格品还是不合格品，

解析动作控制单元，其用于在上述对象物为不合格品时将上述X射线检查装置的动作条件从上述标准的动作条件切换为上述再检查动作条件，并基于上述再检查动作条件对上述X射线检查装置的动作进行控制。

2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述再检查动作条件，是就上述对象物而言根据成为再检查对象的不良类别而规定的条件，

上述解析动作控制单元按照基于不良类别的动作条件，对上述X射线检查装置的动作进行控制。

3.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

为了使上述X射线检测机构取得放大率比按照上述标准的动作条件拍摄得到的图像的放大率高的图像，上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，来变更上述X射线检测机构和上述对象物移动单元之间的距离或上述X射线输出单元和上述对象物移动单元之间的距离。

4.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

为了取得比按照上述标准的动作条件来取得的图像张数多的张数的图像，上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，使得在比按照上述标准的动作条件来拍摄的多个位置更多的位置进行拍摄。

5.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，从而按照基于上述对象物的不良原因而预先规定的基准，来变更X射线的照射角度。

6.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，以使上述对象物和上述X射线检测机构的轨道从针对上述标准的动作条件而预先规定的第一轨道变更为预先规定为上述再检查动作条件的第二轨道。

7.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

为了取得比在上述标准的动作条件下取得的图像的对比度高的对比度，上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，从而基于上述再检查动作条件来调整管电压、管电流或曝光时间。

8.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述解析动作控制单元对上述X射线检查装置的动作进行控制，使得从预先规定为上述标准的动作条件的X射线的第一焦点直径切换为预先规定为上述再检查动作条件的第二焦点直径来进行拍摄，其中，上述第二焦点直径小于上述第一焦点直径。

9.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述X射线检查装置还具有重建单元，该重建单元用于对通过X射线拍摄得到的图像进行重建，

上述控制单元还具有算法变更单元，该算法变更单元将用于对图像进行重建的算法，从用于对上述标准的动作条件下的图像进行重建的第一算法变更为用于对上述再检查动作条件下的图像进行重建的第二算法。

10.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，

上述X射线检查装置还具有显示单元，该显示单元用于显示在上述标准的动作条件下判定为不良的结果以及在上述再检查动作条件下针对在上述标准的动作条件下判定为不良的位置进行拍摄而得到的图像。