[发明专利]LED及晶圆检查装置、以及利用上述装置的检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及LED及晶圆检查装置、以及利用上述装置的LED及晶圆检查方法，尤其涉及可在一个装置连续实施LED及晶圆的表面检查及内部检查的晶圆检查装置、以及利用上述装置的LED及晶圆检查方法。

背景技术

一般而言，太阳能电池是利用半导体的特性将太阳光转换为电能的元件。近年来，太阳能电池用于移动电话或PDA等便携式信息设备的辅助电源、汽车等交通工具的驱动电源、发电及热水的生产等。而且，目前为了获得较大的电力，积极开展通过串联或并联多个太阳电池获得小型化及高输出的太阳能电池模块的研究。在上述太阳能电池(以下称为“晶圆”)的制造过程中，将依次进行表面检查及内部检查，即对电池的均一性、热点、排列不均匀及表面污染度等进行必要的检查，而上述表面检查及内部检查在各自独立的检查装置中完成。即，在表面检查装置上完成对晶圆的表面检查之后，作业者将晶圆匣搬运至另一检查装置进行晶圆内部检查。

另外，作为发光元件的LED最近因其发光率的提升，其应用范围从最初的用于显示信号，扩展至用于手机背光源(Back Light Unit，BLU)或液晶显示装置(LCD)等大型显示装置的光源及照明装置。其原因是LED较之作为现有技术的照明装置工具的灯泡或荧光灯等，其电力消耗少，寿命长。

作为最近常用的高亮度发光元件的LED的检查方法，有将LED作为单品事先进行检查的方法和在将其组装(内置)于PCB的状态下通过施加测试电源而检查部件(LED)状态的方法。在此，作为单品进行检查是指在晶圆上进行的检查，一般是指半导体生产企业在出厂前进行的检查。

但是，上述LED及晶圆的一系列检查作业在主生产线上被独立区分，从而降低作业连贯性，降低生产效率。

另外，为了进行上述检查过程，需由作业者手工搬运装载形成有多个LED或多个电池的多个晶圆的晶圆匣，因而较为繁琐。而且，在这种LED及晶圆匣的搬运过程中，存在因作业者的疏忽导致发生LED及晶圆的破损或被微粒污染的问题。

因此，为了减少LED及晶圆检查中的晶圆破损或污染，需在检查过程中最大限度地减少LED及晶圆的移动。

另外，因现有技术的LED及晶圆检查装置的体积比较大，在安装及运行过程中受到空间的限制。因此，为了提高空间利用率，要求检查装置小型化。

此外，还提出了在不破坏晶圆检查过程中判定为不良的晶圆的情况下，对其进行分类收集，从而加以回收利用的必要性。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种LED及晶圆检查装置，其可在一个装置中连续实施对LED及太阳能电池的表面检查及内部检查，以提高作业效率。

本发明的另一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其最大限度地减少待检查的LED及晶圆的移动，以减少检查过程中有可能发生的LED及晶圆破损或污染。

本发明的又一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其实现小型化，以提高空间利用率。

本发明的再一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其可以原始状态分离收集在检查过程中判定为不良的LED及晶圆。

为解决上述问题，本发明提供一种晶圆检查装置，其包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降、以依次装载上述晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程。

另外，在上述旋转台形成用于装载上述晶圆的四个空间部，且在上述每个空间部均形成用于支撑上述装载晶圆的两个晶圆支撑台，而且，上述两个晶圆支撑台可分别向左右移动，以使上述晶圆降落。

另外，上述第一视觉模块，包括：表面检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及两个表面检查用紫外线照明装置，设置于上述表面检查用摄像头两侧；而且，上述第一不良品收纳部位于上述第一视觉模块及上述旋转台的下方。

另外，上述第二视觉模块，包括：内部检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及两个内部检查用红外线照明装置，设置于上述旋转台下侧以与上述内部检查用摄像头相对；而且，上述第二不良品收纳部位于上述第二视觉模块及上述旋转台的下方。

另外，上述两个内部检查用红外线照明装置，在上述晶圆的内部检查过程中位于相邻的位置，而在上述晶圆降落时分别向左右移动，以便使上述晶圆通过。