[发明专利]氮化物半导体发光器件有效
申请号: | 201110041101.X | 申请日: | 2006-10-08 |
公开(公告)号: | CN102136673A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 神川刚;川口佳伸 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028;H01S5/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氮化物 半导体 发光 器件 | ||
1.一种氮化物半导体发光器件,包括:
氮化物半导体层;
设置在所述氮化物半导体层中的腔;
与所述腔的端面接触的氮化物隔离层;以及
与所述隔离层接触的端面涂覆膜;
其中,
所述端面涂敷膜是氧化物,
在部分的所述隔离层中,形成有所述端面涂覆膜和所述隔离层互扩散的区域。
2.根据权利要求1的氮化物半导体发光器件,
其中所述氮化物半导体层和隔离层均具有六方晶体。
3.根据权利要求1的氮化物半导体发光器件,
其中所述隔离层是氮化铝。
4.根据权利要求1的氮化物半导体发光器件,
其中在所述端面涂覆膜和所述隔离层互扩散的区域中,形成有AlNxOy,其中x<1,y<1,且x+y=1。
5.根据权利要求1的氮化物半导体发光器件,
其中所述端面涂覆膜是氧化铝。
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