[发明专利]狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置

说明书

技术领域

本发明涉及无旋转方式的涂覆装置，特别涉及用于清洗无旋转法的涂覆处理中使用的狭缝喷嘴的喷出口周边部的狭缝喷嘴清洗装置。

背景技术

LCD等的平面显示器(FPD)的制造工艺中的图像平版印刷工序中，较多使用无旋转的涂敷法，该使具有狭缝形状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴涂敷法相对于玻璃基板等的被处理基板进行相对移动，在基板上涂覆处理液或药液等的涂覆液例如抗蚀剂液。

在典型的无旋转涂覆法中，对固定载置在工作台上的基板，通过狭缝喷嘴喷出带状的抗蚀剂液，并使狭缝喷嘴在与喷嘴长边方向正交的水平方向移动。这样，从狭缝喷嘴的喷出口向基板上溢出的抗蚀剂液在喷嘴后方平坦地延伸，在基板的一个表面上形成抗蚀剂涂覆膜(例如，专利文献1)。

作为其他的代表的无旋转涂覆法，多使用在工作台上在使基板悬浮在空中的状态下沿着水平方向进行输送的(工作台长边方向)的悬浮输送方式。在该种方式中，设置在悬浮工作台的上方的长尺型的狭缝喷嘴朝向通过其正下方的基板喷出带状的抗蚀剂液，由此在基板的输送方向从基板的前端部向着后端部在基板上的一个表面上形成抗蚀剂涂覆膜(例如，专利文献2)。

通常，在狭缝喷嘴中，停止喷出动作时，喷出口附近容易附着或残留抗蚀剂液，如果其原样放置而干燥凝固，则在下一次涂覆处理时妨碍或扰乱抗蚀剂喷出流，有可能引起抗蚀剂膜厚的变动。因此，与涂覆处理部邻接设置的喷嘴待机部上，为下一次涂覆处理做准备，设置有用于清洗的狭缝喷嘴的喷出口周边部的狭缝喷嘴清洗装置(例如，专利文献3)。

现有的狭缝喷嘴清洗装置具有，被定位在喷嘴待机部内的规定位置的、在狭缝喷嘴下方沿着喷嘴的长边方向扫描移动的喷嘴清洗头或滑动架，该滑动架上搭载有分别向着狭缝喷嘴的喷出口周边部分内喷射清洗液(例如稀释液)和干燥用气体(例如N2气体)的清洗喷嘴和干燥喷嘴。滑动架沿着狭缝喷嘴的喷出口周边部沿着喷嘴长边方向扫描移动，并向着狭缝喷嘴的喷出口周边部的各部，清洗喷嘴首先吹出清洗液，接着干燥喷嘴吹出干燥用气体。

专利文献

【专利文献1】日本特开平10-156255号公报

【专利文献2】日本特开2005-236092号公报

【专利文献3】日本特开2007-111612号公报

发明内容

上述现有的狭缝喷嘴清洗装置，通过一次清洗扫描难以全面清扫狭缝喷嘴的喷出口周边部，因此要反复数次清洗扫描(滑动架的扫描移动)，存在喷嘴清洗处理周期时间长，清洗液的消耗量多的问题。

本发明解决上述现有技术的问题点，提供提高清洗效率和清洗能力，实现清洗周期时间的缩短化和清洗液消耗量的节俭的狭缝喷嘴清洗装置和具备该狭缝喷嘴清洗装置的涂覆装置。

本发明的狭缝喷嘴清洗装置，用于对涂覆处理中使用的具有狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗，其包括：沿着上述狭缝喷嘴的喷出口周边部在与上述狭缝喷嘴的长边方向平行的水平的清洗扫描方向移动的滑动架；搭载在上述滑动架上、在上述清洗扫描方向移动并向上述狭缝喷嘴的喷出口周边部吹出清洗液的第一清洗单元；和在上述清洗扫描方向，位于上述清洗单元之后，搭载在上述滑动架上，在上述清洗扫描方向移动并擦去附着在上述狭缝喷嘴的喷出口周边部的液体的第一擦拭单元。

上述的结构中，在清洗扫描方向，相对于狭缝喷嘴的各位置的喷出口周边部，首先，第一清洗单元喷出清洗液，由此将附着在该喷出口周边部的污垢溶解在清洗液中，污垢液残留在喷出口周边部。随即，第一擦拭单元通过该喷出口周边部，擦去附着在此的污垢液。

本发明的涂覆装置包括：具有在涂覆处理中对被处理基板带状喷出涂覆液的狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴；在涂覆处理中向上述狭缝喷嘴供给涂覆液的涂覆液供给部；支撑上述基板的基板支撑部；在涂覆处理中，以上述狭缝喷嘴在上述基板上进行涂覆扫描的方式，在上述狭缝喷嘴和上述基板之间在水平方向进行相对移动的涂覆扫描机构；和用于在涂覆处理的间歇对上述狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗的上述狭缝喷嘴清洗装置。

根据本发明的狭缝喷嘴清洗装置，通过上述结构和作用能够提高狭缝喷嘴的清洗效率，实现清洗周期的时间的缩短和清洗液消耗量的降低。此外，根据本发明的涂覆装置，通过具备本发明的狭缝喷嘴清洗装置，能够提高对狭缝喷嘴的清洗功能的清洗能力，改善涂覆处理的品质、成品率、维修成本。

附图说明

图1为表示能够适用本发明的狭缝喷嘴清洗装置的抗蚀剂涂覆装置的一个结构例的立体图。

图2为表示上述抗蚀剂涂覆装置中的狭缝喷嘴的内部结构和基板上形成抗蚀剂涂覆膜的情形的截面图。