[发明专利]太阳能电池与其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包含：

一半导体基板，具有相对的一第一表面和一第二表面；

一射极层，形成于该第一表面上，以形成一PN接面；

一阳极处理氧化铝层，形成于该第二表面上，其中该阳极处理氧化铝层具有数个纳米级孔洞；以及

一背面电极，形成于该阳极处理氧化铝层上，其中该背面电极的一部分是形成于该些纳米级孔洞中，以使该背面电极与该半导体基板电性连接。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，还包含一正面电极，形成于该射极层上。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，该正面电极的材质为银。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，该些孔洞的直径是介于10纳米至500纳米间。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，该背面电极的材质为铝或银、铝混合物。

6.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，至少包含：

提供一半导体基板，其中该半导体基板具有相对的一第一表面和一第二表面；

形成一射极层于该第一表面上，以形成一PN接面；

以阳极氧化铝处理技术来形成一阳极处理氧化铝层于该第二表面上，其中该阳极处理氧化铝层具有数个纳米级孔洞；以及

形成一背面电极于该阳极处理氧化铝层上，其中该背面电极的一部分是形成于该些纳米级孔洞中，以使该背面电极与该半导体基板电性连接。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，还包含形成一正面电极于该射极层上。

8.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，形成该背面电极的步骤包含：

涂布一电极材料于该阳极处理氧化铝层上，并使该电极材料流入该些纳米级孔洞中；以及

硬化该电极材料来形成该背面电极。

9.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，形成该阳极处理氧化铝层的步骤包含：

沉积一铝层于该半导体基板的该第二表面上；

对该铝层进行一第一阳极处理，以使该铝层一部分转变成一第一氧化铝层；

移除该第一氧化铝层；

对剩余的铝层进行一第二阳极处理，以使该剩余的铝层转变成一第二氧化铝层，其中该第二氧化铝层具有该些纳米级孔洞；以及

进行一蚀刻步骤，以利用一酸液来蚀刻该些纳米级孔洞，以使该些纳米级孔洞贯穿该第二氧化铝层。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，该酸液为磷酸、草酸或硫酸。