[发明专利]电子级盐酸生产方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种盐酸生产方法，尤其涉及一种应用于大规模集成电路所需要的电子级盐酸生产方法。

背景技术

盐酸，相对分子量为36.46，是一种强酸，为无色透明液体，与水互溶。浓盐酸具有极强的挥发性，在空气中发烟，有刺激性气味。在常温(25度)下，浓盐酸中氯化氢的质量分数在37%左右，密度为1.18g/ml。超净高纯盐酸为酸性清洗剂和腐蚀剂，可与过氧化氢配合使用，主要用于大规模集成电路工艺技术的生产。

超纯盐酸的制备工艺一般有：间歇蒸馏法、等温扩散法、亚沸蒸馏法，这些是以前制备超纯盐酸所使用的工艺。等温扩散法与亚沸蒸馏法生产量很小，在工业生产中基本没有使用价值，只有在制备少量实验室超纯盐酸时才使用。间歇蒸馏法现在还被一些生产厂家所使用，但其效率、收率都比较低，另外生产操作也比较繁琐，不具有连续大规模生产的能力。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种电子级盐酸生产方法，实现连续的大规模生产, 工艺简单，稳定性好。

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种电子级盐酸生产方法，依次包括如下步骤：a) 提供国标试剂级31%的盐酸原料；b) 上述盐酸原料经过微滤进入预热器预热后进入再沸器内；c) 采用饱和蒸汽对再沸器加热，加热产生的盐酸蒸汽经过冷凝器后得到成品；d) 用自来水对盐酸尾气进行吸收处理；e)由步骤c)所得到的成品进入成品储槽，经过超滤去除颗粒后得到最终的应用于电子行业的盐酸。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤b)中微滤的滤芯采用微米级的PP材质滤芯。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤b)中的再沸器外壳采用硼硅玻璃材质，内胆加热器采用纯钽材质制成，所述饱和蒸汽压力为4.5～5.5MPa。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤c)中再沸器出来的盐酸蒸汽经过精馏塔进一步提高盐酸蒸汽纯度，所述精馏塔采用硼硅玻璃材质，塔内装有PFA填料（可溶性聚四氟乙烯）。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤c)中冷凝器出来的盐酸进入成品收集槽，所述成品收集槽由硼硅玻璃制成，从收集槽出来的产品直接流入成品储槽内，或者通过循环泵部分回流到冷凝器帮助冷凝盐酸蒸汽。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤d)中的盐酸尾气采用自来水在除气塔内进行直接吸收，吸收液直接排入废水处理系统进行进一步的处理，除气塔采用硼硅玻璃制作而成，脱气塔内装有玻璃填料，以增大气液接触面积。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤e)中的成品储槽采用不锈钢内衬氟材质。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述步骤e)中超滤的滤芯为亚微米级全氟材质。

上述的电子级盐酸生产方法，其中，所述预热器、冷凝器由硼硅玻璃制成。

本发明对比现有技术有如下的有益效果：本发明提供的电子级盐酸生产方法，采用31%的国标试剂级盐酸进行直接连续蒸馏提纯的方法得到37%电子级的盐酸，具有产量能耗比大，生产连续，工艺简单，稳定性好，设备简单特点。此外，盐酸原料的浓度可以无特定的要求，成品的浓度也可以随意调节。

 

附图说明

图1为本发明电子级盐酸生产装置示意图；

图2为本发明电子级盐酸生产方法流程图。

 

图中：

1 原料槽             2 预热器           3 冷却器

4 废酸槽             5 再沸器           6 精馏塔

7 冷凝器             8 除气塔           9 成品收集槽

10 循环泵            11 成品储槽

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述。

图1为本发明电子级盐酸生产装置示意图；图2为本发明电子级盐酸生产方法流程图。

请参见图1和图2，本发明提供的电子级盐酸生产方法，依次包括如下步骤：

步骤S1：国标试剂级31%的盐酸原料，盐酸原料储存在塑料原料槽1内；

步骤S2：上述盐酸原料经过微米级的PP材质滤芯过滤后以50-100kg/h的流量进入预热器2预热然后进入再沸器5内，预热器2用于将正常排放的盐酸废酸对盐酸原料进行预热，这样极好地减少了热媒的使用，预热器由硼硅玻璃制成；从原料预热器正常排放出来的废酸，经冷却器3冷却后采用废酸槽4承装，储槽采用塑料材质；