[发明专利]双面钝化高效硅太阳电池及工艺流程

权利要求书

1.一种双面钝化高效硅太阳电池，包括有太阳电池硅片、正面电极和背面电极，其特征在于：所述的太阳电池硅片的迎光面设有减反射薄层，背面沉积有氧化铝钝化层，氧化铝钝化层上沉积有铝薄膜，所述的正面电极和背面电极分别设置于太阳电池硅的迎光面与背面。

2.根据权利要求1所述的双面钝化的高效太阳电池，其特征在于所述的减反射薄层为氮化硅薄膜，氧化铝钝化层采用氧化铝薄膜，厚度控制在10nm以内。

3.根据权利要求1所述的双面钝化的高效太阳电池的生产方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)、首先将太阳电池硅片进行清洗和腐蚀金字塔绒面、扩散工艺制作PN结、刻蚀工艺去除掉PSG磷硅玻璃；

(2)、在迎光面制作减反射薄层，再在背面沉积氧化铝钝化层，再在氧化铝钝化层上沉积铝薄膜，采用丝网印刷、然后烧结的工艺制备正面电极和背面电极，最后完成太阳电池的制作。