[发明专利]电腐蚀加工系统及方法

权利要求书

1.一种电腐蚀加工系统，包括：

电极，其用于加工工件；

电源，其可使所述电极和所述工件具有相反的极性；

电解液源，其可提供通过所述工件与相应的所述电极间的电解液；

加工装置，其可驱动所述电极相对于所述工件运动；

控制装置，其可控制所述加工装置来加工所述工件；及

移除剂，其可与来自所述加工液源的加工液相配合来移除从所述工件上移除的材料。

2.如权利要求1所述的电腐蚀加工系统，其中所述移除剂可包括非导电材料可包括氧化铝、碳化物、氮化物、树脂、金刚石、石榴石和含氮碳氢化合物中的一种或多种。

3.如权利要求2所述的电腐蚀加工系统，其中所述碳化物可包括碳化硅、碳化钨和碳化硼中的一种或多种，所述氮化物可包括立方氮化硼，所述树脂可包括酚醛树脂和聚酰亚胺，所述含氮碳氢化合物可包括胺类。

4.如权利要求1所述的电腐蚀加工系统，进一步设置有来提供所述移除剂的移除剂源，其中所述移除剂可为固体颗粒形式并可散布在所述加工液中来通过所述工件与相应的所述电极间，

5.如权利要求4所述的电腐蚀加工系统，进一步包括可把所述移除剂和所述加工液喷射通过所述工件与相应的所述电极间的喷嘴。

6.如权利要求1所述的电腐蚀加工系统，其中所述移除剂可设置在所述电极上。

7.如权利要求6所述的电腐蚀加工系统，其中所述移除剂包括复数个研磨件，设置在同一个电极上的研磨件间隔的设置并延伸出该电极。

8.如权利要求1所述的电腐蚀加工系统，进一步包括可安装于所述加工装置上并可固持所述电极的基座，该基座可固持一个以上且间隔设置其上的电极。

9.如权利要求8所述的电腐蚀加工系统，其中所述基座开设有复数个可用来收容相应的所述电极的开槽，与所述电解液源相连通的中心孔及连通所述开槽和中心孔的通道。

10.一种电腐蚀加工方法，包括：

驱动电极和工件彼此相对运动；

在所述工件与相应的所述电极上通过电流并在其间形成的间隙内通过电解液来加工所述工件；及

在所述工件与相应的所述电极间设置有移除剂以与所述电解液相配合来把从所述工件上移除的材料移出所述间隙。

11.如权利要求10所述的电腐蚀加工方法，其中所述移除剂可包括氧化铝、碳化物、氮化物、树脂、金刚石、石榴石和含氮碳氢化合物中的一种或多种。

12.如权利要求11所述的电腐蚀加工方法，其中所述碳化物可包括碳化硅、碳化钨和碳化硼中的一种或多种，所述氮化物可包括立方氮化硼，所述树脂可包括酚醛树脂和聚酰亚胺，所述含氮碳氢化合物可包括胺类。

13.如权利要求10所述的电腐蚀加工方法，其中所述移除剂可以固体颗粒形式混合并散布于所述加工液中。

14.如权利要求13所述的电腐蚀加工方法，其中所述移除剂包括复数个研磨件，设置在同一个电极上的研磨件间隔的设置并延伸出该电极。

15.如权利要求13所述的电腐蚀加工方法，其中所述电极可通过可安装于所述加工装置上的基座进行固持，该基座可固持一个以上且间隔设置其上的电极，所述基座开设有复数个可用来收容相应的所述电极的开槽，与所述电解液源相连通的中心孔及连通所述开槽和所述中心孔的通道。