[发明专利]光扫描仪以及图像形成装置

权利要求书

1.一种光扫描仪，其特征在于，

所述光扫描仪具有：

光反射部，该光反射部具有光反射性；

可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位；

一对连结部，该一对连结部连接于所述可动板的端部的对置的位置；

支承部，该支承部用于支承所述连结部；以及

变位赋予部，该变位赋予部用于使所述一对连结部转动，

各所述连结部具有：

驱动部，该驱动部能够转动；以及

轴部，该轴部连接所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动朝所述可动板的厚度方向弯折。

2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光扫描仪构成为：

当将在所述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，

所述一对连结部分别具有：所述驱动部，该驱动部与所述可动板在X轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部，且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述支承部，且沿Y轴方向延伸，

利用所述变位赋予部使所述第二轴部扭转变形并使所述驱动部绕Y轴转动，由此使所述第一轴部弯折。

3.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部所具有的所述第一轴部具有：节部，该节部设置在延伸方向的中途；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结所述节部和所述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结所述节部和所述驱动部，并且，所述第一轴部在所述节部弯折。

4.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部所具有的所述第一轴部能够形成为以下两种变形：

以形成朝所述可动板的厚度方向的一方侧凸出的V字状的方式在所述节部弯折的第一变形；以及

以形成朝所述可动板的厚度方向的另一方侧凸出的V字状的方式在所述节部弯折的第二变形。

5.根据权利要求4所述的光扫描仪，其特征在于，

利用所述变位赋予部交替地反复形成以下两种状态，由此使所述可动板绕所述Y轴转动，

所述两种状态为：

使各所述连结部所具有的所述第一轴部中的一方的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使另一方的所述第一轴部进行所述第二变形的状态；以及

使所述一方的第一轴部进行所述第二变形，同时使所述另一方的第一轴部进行所述第一变形的状态。

6.根据权利要求4所述的光扫描仪，其特征在于，

利用所述变位赋予部交替地反复形成以下两种状态，由此使所述可动板朝该可动板的厚度方向振动，

所述两种状态为：

使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第一变形的状态；以及

使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第二变形的状态。

7.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部的所述节部具有绕Y轴扭转变形的扭转变形部。

8.根据权利要求7所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部的所述节部具有一对所述扭转变形部，

所述一对扭转变形部中的一方的所述扭转变形部连结于所述可动板侧轴部，另一方的所述扭转变形部连结于所述驱动部侧轴部。

9.根据权利要求8所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部的所述节部具有非变形部，该非变形部设置在所述一对扭转变形部之间，沿Y轴方向延伸且并不绕Y轴扭转变形。

10.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部的所述可动板侧轴部和所述驱动部侧轴部分别并不实质性地变形。

11.根据权利要求9所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部由SOI基板形成，所述SOI基板通过按照顺序层叠第一Si层、SiO₂层、以及第二Si层而形成。

12.根据权利要求11所述的光扫描仪，其特征在于，

各所述连结部的所述可动板侧轴部、所述非变形部、所述驱动部侧轴部、以及所述驱动部分别由所述第一Si层、所述SiO₂层、以及所述第二Si层构成，所述扭转变形部和所述第二轴部分别由所述第二Si层构成。