[发明专利]静电致动器及其驱动方法

权利要求书

1.一种用于驱动静电致动器的驱动方法，所述静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：

在所述固定电极和所述可动电极之间施加第一电压，使所述可动电极与所述电介质层进行接触，并且

在所述第一电压的施加停止后并且在所述可动电极从所述电介质层移开之前，在所述固定电极和所述可动电极之间施加第二电压，所述第二电压的极性与所述第一电压的极性相反，并且所述第二电压的绝对值小于所述第一电压的绝对值。

2.根据权利要求1所述的用于驱动静电致动器的驱动方法，

其中，所述第二电压的绝对值大于所述固定电极和所述可动电极之间的脱离电压。

3.根据权利要求1或2所述的用于驱动静电致动器的驱动方法，

其中，所述第一电压以预定周期被重复地施加。

4.根据权利要求3所述的用于驱动静电致动器的驱动方法，

其中，每次当所述第一电压被施加在所述固定电极和所述可动电极之间时，使所述第一电压的极性逆转。

5.一种静电致动器，包括：

衬底；

形成在所述衬底上的固定电极；

形成在所述固定电极上的电介质层；

形成在所述电介质层上方的可动电极；以及

驱动电路，其在所述固定电极和所述可动电极之间施加第一电压，以使所述可动电极与所述电介质层进行接触，并且，其在所述第一电压的施加停止后并且在所述可动电极从所述电介质层移开之前，在所述固定电极和所述可动电极之间施加第二电压，所述第二电压的极性与所述第一电压的极性相反，并且所述第二电压的绝对值小于所述第一电压的绝对值。

6.根据权利要求5所述的静电致动器，

其中，所述驱动电路施加的所述第二电压的绝对值大于所述固定电极和所述可动电极之间的脱离电压。

7.根据权利要求5或6所述的静电致动器，

其中，所述驱动电路以预定周期重复地施加所述第一电压。

8.根据权利要求7所述的静电致动器，

其中，每次当所述第一电压被施加时，所述驱动电路就使所述第一电压的极性逆转。