[发明专利]发光元件的制造方法无效
申请号: | 201110043225.1 | 申请日: | 2008-01-24 |
公开(公告)号: | CN102136533A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 林锦源;吴仁钊;陈泽澎;王百祥 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 元件 制造 方法 | ||
本申请是申请日为2008年1月24日且发明名称为“发光元件、背光模块装置和照明装置”的中国专利申请No.200810003818.3的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种发光元件,尤其涉及一种水平式发光二极管元件结构。
背景技术
发光二极管(Light-emitting Diode)在具有光电转换特性的固态元件里十分重要。一般而言,它具有一发光层(Active Layer),被两种不同电性的半导体层(p-type & n-type semiconductor layers)所包夹而成。当在两半导体层上的接触电极施加一驱动电流时,两半导体层的电子与空穴会注入发光层,在发光层中复合而放出光线,其光线具全向性,会通过此发光二极管元件的各个表面而射出。
发光二极管元件是一种被广泛使用的光源。相较于传统的白炽灯泡或荧光灯管,发光二极管除了具有省电与使用寿命较长的优异特性外,还具有整体性的成本优势,因此逐渐取代传统光源,而应用于各种不同领域,如交通号志、背光模块、路灯照明、医疗设备等产业。
随着发光二极管光源的应用与发展,对于亮度的要求越来越高,使得如何增加其发光效率而提高其亮度,成为产业界所共同努力的重要方向。目前已知方法之一,利用基板转移技术将原来具有吸光特性的成长基板移除,转换成另一具有透光或散热特性的基板,如此可大幅增加出光效率而提高亮度。
图9为利用基板转移技术所得的一般InGaN倒装片式(Flip-Chip)的发光二极管元件结构图。其工艺步骤先于Sapphire基板(图未示)上,形成一p电极与n电极同侧的水平式结构设计的发光叠层902;再将此发光叠层902,连结于表面具有p电路图案903与n电路图案906设计的封装基板(submount)901;最后,在封装基板901上的p电路图案903与n电路图案906中所预留的打线电极,进行打线工程,电性连接导线904与905,如此可获得如图9所示的倒装片式发光二极管元件900。由于此工艺步骤,将芯片(即Sapphire基板上形成的发光叠层902)先进行切割成一颗颗的管芯后,再分别连结于封装基板901之上,其制造程序过于复杂,使得生产效率难以有效提升。
发明内容
本发明的一目的在于提供一发光元件包含:一永久基板,具有n电路图案与p电路图案设计;一发光叠层,具有一n电极与一p电极,并与永久基板对位连结,使得n电极电性连结n电路图案,p电极电性连结p电路图案;其中上述的发光叠层还具有两个打线开口,分别露出n电路图案与p电路图案的打线区域,以作为后续打线工艺的导线连接位置。
本发明的另一目的在于提供一发光元件的制造方法包含:提供一成长基板;并在成长基板上形成一发光叠层;且在发光叠层的一表面,形成一n电极与一p电极;还提供一永久基板上,并在其一表面形成一n电路图案与一p电路图案;然后将成长基板与永久基板对位连结成一体,并使得n电极电性连接n电路图案,p电极电性连接p电路图案;再将该成长基板移除,并将上述发光叠层蚀刻出两个打线开口,而露出n电路图案与p电路图案的两个打线区域;最后对该永久基板进行切割裂片,形成多个管芯。
本发明提供一种利用基板转移技术所形成的发光元件结构,一永久基板,其一表面同时具有第一电路图案与第二电路图案;一发光叠层,其一表面同时具有第一电极与第二电极,并与上述永久基板对位连结,使得第一电极电性连接第一电路图案,第二电极电性连接第二电路图案;其中发光叠层还具有两个打线开口,分别露出该第一电路图案与该第二电路图案的两个打线区域。上述的发光元件结构,系先进行芯片连结后,再利用反应离子束蚀刻技术,蚀刻出打线开口;最后进行切割裂片工艺,将芯片切割成管芯后,再进行后段封装工艺。相较于传统的倒装片式发光二极管元件,此结构可以简化管芯工艺,并大幅提升生产效率。
附图说明
图1A为本发明第一工艺步骤的元件结构图。
图1B为图1A的上方俯视图。
图2A为本发明第二工艺步骤的元件结构图。
图2B为图2A的上方俯视图。
图3A为本发明第三工艺步骤的元件结构图。
图3B为本发明第三工艺步骤的对位示意图。
图4为本发明第四工艺步骤示意图。
图5A为本发明第五工艺步骤的第一示意图。
图5B为本发明第五工艺步骤的第二示意图。
图6为本发明的发光二极管结构图。
图7为本发明的背光模块结构图。
图8为本发明的照明装置结构图。
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