[发明专利]光学自由曲面干涉检测装置

权利要求书

1.一种光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：包括激光器[1]、扩束系统[2]、可控微透镜点源阵列[3]、分光棱镜[4]、标准球面透镜组[5]、移相器[6]、小孔光阑[8]、成像透镜[9]、电荷耦合器件CCD[10]、监视器[11]和计算机[12]；激光器[1]后面放置扩束系统[2]，扩束系统[2]后放置可控微透镜点源阵列[3]，可控微透镜点源阵列[3]后面放置分光棱镜[4]，经分光棱镜[4]后光路结构分为两路，一路是分光棱镜[4]后放置标准球面透镜组[5]，移相器[6]与标准球面透镜组[5]相连接驱动标准球面透镜组[5]作横向移动，另一路在分光棱镜[4]反射光的方向放置小孔光阑[8]，小孔光阑[8]后面放置成像透镜[9]，成像透镜[9]后放置电荷耦合器件CCD[10]，电荷耦合器件CCD[10]与监视器[11]和计算机[12]相连接。

2.根据权利要求1所述的光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：扩束系统[2]为开普勒式望远镜结构，由第一透镜[2-1]、第二小孔光阑[2-2]，第二透镜[2-3]组成，第一透镜[2-1]与第二透镜[2-3]的焦点重合，第二小孔光阑[2-2]放置在第一透镜[2-1]与第二透镜[2-3]的焦点上。

3.根据权利要求1所述的光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：可控微透镜点源阵列[3]包括微透镜阵列[3-1]、小孔阵列[3-2]和光源选择掩膜板[3-3]，微透镜阵列[3-1]其后放置小孔阵列[3-2]，小孔阵列[3-2]后面再放置光源选择掩膜板[3-3]；所述微透镜阵列[3-1]的阵列数、小孔阵列[3-2]的阵列数和光源选择掩膜板[3-3]的阵列数三者数目相同。

4.根据权利要求1或3所述的光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：所述光源选择掩膜板[3-3]由与微透镜阵列[3-1]中微透镜数目相同的掩膜挡板组成，计算机通过电路程序控制掩膜挡板的开和闭，当掩膜挡板挡住小孔阵列[3-2]上与其对应的小孔时，微透镜阵列[3-1]中对应的微透镜产生的点光源即被挡住，当掩膜挡板打开时，微透镜阵列[3-1]中对应的微透镜产生的点光源即被点亮。