[发明专利]一种含钽中间层金属氧化物电极的制备方法

权利要求书

1.一种含钽中间层金属氧化物电极的制备方法，包括基体预处理、钽中间层制备和氧化物涂层制备三个工艺步骤，其特征在于基体预处理是先将钛基体表面采用碱洗除油液清洗，然后在质量百分比浓度10％的草酸溶液中进行表面刻蚀获得均匀的钛基体粗糙表面；钽中间层制备是以钽盐醇溶液作为先驱体，采用热分解法在经过预处理的钛基体粗糙表面采用刷涂或浸涂形成含钽中间层，其中的钽盐包括五氯化钽和乙醇钽；然后将钛基体放入真空烧结炉中进行热分解制成钽中间层，或利用质量百分比纯度≥99.99％的氩气或氮气的惰性气氛作为保护气氛，在80℃-120℃干燥10-20min，再在300℃-550℃的温度下烧结10-20min后，随炉冷却至室温后取出；反复上述步骤直到含钽涂层厚度为0.5μm-3.0μm；再将制备的钽中间层用质量百分比浓度5％-20％的HF刻蚀处理后形成预处理后的含钽层钛基体放入无水乙醇中备用；氧化物涂层制备是采用常规的热分解法或聚合物溶胶-凝胶法配制涂液，制备表面金属氧化物电催化涂层，电催化涂层由IrO₂、RuO₂和PtO_x中的一种或多种作为活性组元，与TiO₂、Ta₂O₅和SnO₂中的一种或多种构成混合金属氧化物所组成；将涂液刷涂在预处理后备用的含钽层钛基体上，然后在80℃-120℃干燥10-30min，再在400℃-500℃下烧结10-30min后取出常温下冷却，反复刷涂、干燥、烧结和冷却步骤，直到氧化物载量或氧化物层厚度为2-5μm。