[发明专利]用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统。

背景技术

随着集成电路芯片集成度的不断提升和芯片功能的不断提高，人们对半导体制造工艺的要求越来越高。在半导体制造装备的研究、开发和测试工作中，包括硬件和软件的研发，其中仿真扮演了重要的角色。这是因为，一方面，由于生产过程控制本身的复杂性，对理论研究不断提出新的要求，而理论研究需要借助于仿真工具；另一方面，对于各种系统控制软件包，需要仿真平台进行仿真，以全面反映算法在实际生产运行中的效果，从而得到有指导意义的算法改进策略、参数在线调整方法等。

现有的仿真工作存在的问题是，专门为某一个项目开发软件测试平台不仅耗时过大而且可重用性很差。因此，迫切需要一个通用的软件测试平台系统，提供能够被各个项目使用的所有硬件的仿真程序，使得开发出来的软件能够在此基础上运行测试，从而提高软件测试的效率。但是，在半导体的制造装备中，半导体设备的控制端与设备端的通信模式有多种方式，其中的命令格式与数据帧是不断变化的，没有一种固定的模式。因此，在半导体设备的仿真过程中，为了便于对复杂的命令格式进行有效的解析和管理，需要建立通信命令的配置与解析方法，负责仿真设备与控制端通信的管理。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一。

为达到上述目的，本发明一方面提出一种用于解析半导体设备的通信命令的方法，包括以下步骤：根据通信命令的格式，设置提取字符和解析方式，其中，所述解析方式包括第一解析方式和第二解析方式；根据所述提取字符提取所述通信命令中的有效信息，并将所述有效信息放入链表中；以及根据所述第一解析方式和/或第二解析方式对所述有效信息进行解析。

在本发明的一个实施例中，所述提取字符包括：每条命令的末尾处的结束符；每条命令中的属性名称和属性值之间的间隔符；以及每条命令的开始字节。

在本发明的一个实施例中，所述根据所述提取字符提取所述通信命令中的有效信息，进一步包括：对接收到的通信命令进行轮询以找到所述通信命令的开始字节和结束符；然后，在所述开始字节和所述结束符之间查找所述间隔符，将各个间隔符之间、第一个间隔符之前以及最后一个间隔符之后的有效信息提取出来。

在本发明的一个实施例中，所述根据所述第一解析方式和/或所述第二解析方式解析所述有效信息，进一步包括：如果所述通信命令中包括属性名称和属性值，则根据所述第一解析方式解析所述有效信息；如果所述通信命令中只包括属性值，则根据所述第二解析方式解析所述有效信息。

在本发明的一个实施例中，所述根据所述第一解析方式解析所述有效信息，进一步包括：

A.提取第一个属性名称位置处的有效信息；

B.判断所述第一个属性名称位置处的有效信息是否为设备属性名称；

C.如果判断所述第一个属性名称位置处的有效信息为设备属性名称，则获得所述第一个属性对应的属性值类型；

D.提取第一个属性值位置处的有效信息；

E.将所述第一个属性值位置处的有效信息转换为所述第一个属性名称对应的属性值类型；

F.将所述转换后的第一个属性值有效信息赋予所述第一个属性名称；

G.重复上述步骤A至步骤F直至所有的有效信息都被解析出。

在本发明的一个实施例中，所述根据所述第二解析方式解析所述有效信息，进一步包括：

H.提取第一个属性值处的有效信息；

I.获取所述第一个属性值处的有效信息对应的属性值类型；

J.将所述第一个属性值处的有效信息转为所述第一个属性值对应的类型；

K.将所述转换后的第一个属性值有效信息赋予对应的属性；

L.重复上述步骤H至步骤K直至所有的有效信息都被解析出。

本发明另一方面还提出一种用于解析半导体设备的通信命令的系统，包括：设置模块，用于接收用户根据通信命令的格式而设置的提取字符和解析方式，其中，所述解析方式包括第一解析方式和第二解析方式；提取模块，用于根据所述提取字符提取所述通信命令中的有效信息；以及解析模块，用于根据所述第一解析方式和/或所述第二解析方式解析所述有效信息。

本发明通过将复杂的通信命令格式和数据帧整合成一个可以配置的方式，使用户能够根据实际需求自行配置，从而将复杂的命令格式和数据帧的不同有效信息动态地解析出来。而且，本发明的通用性强，配置简单，易于与其他模块集成或分离。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明