[发明专利]薄件剥离设备及剥离方法

权利要求书

1.一种剥离设备，用以自一物件上剥离一薄件，该剥离设备包含：

载台，用以固定该物件并能相对于一剥离方向来回偏转；

切割线，位于该载台之上，用以大致沿该剥离方向切入该物件中，以自该物件剥离出该薄件；以及

两个挟持元件，相对地设置于该载台的两侧，该切割线的两端分别夹持于该两个挟持元件，该两个挟持元件能沿该剥离方向个别地移动以使该切割线相对于该剥离方向来回偏转；

其中，该载台与该切割线大致平行于该剥离方向相对移动，且该载台的偏转方向与该切割线的偏转方向相反。

2.如权利要求1所述的剥离设备，其中当该载台的偏转方向为顺时针时，该切割线的偏转方向为逆时针，并且当该载台的偏转方向为逆时针时，该切割线的偏转方向为顺时针。

3.如权利要求1所述的剥离设备，其中该两个挟持元件沿该剥离方向交替移动，以使该切割线自该物件剥离该薄件。

4.如权利要求1所述的剥离设备，还包含两个滑轨，该两个挟持元件分别滑动设置于该两个滑轨上，用以往该剥离方向移动。

5.如权利要求1所述的剥离设备，其中该载台包含平台及与该平台连接的两个旋转轴，该平台用以固定该物件并通过该两个旋转轴以能相对于该剥离方向偏转。

6.如权利要求1所述的剥离设备，还包含线性移动装置，衔接该载台，用以驱动该载台往相反于该剥离方向的方向移动。

7.如权利要求6所述的剥离设备，其中该线性移动装置能旋转以使该载台相对于该剥离方向偏转。

8.如权利要求1所述的剥离设备，其中该两个挟持元件分别包含一感测模块，用以量测该切割线中的应力。

9.一种剥离方法，使用一剥离设备以自一物件上剥离一薄件，该剥离设备包含载台、切割线及两个挟持元件，该载台能相对于一剥离方向来回偏转，该切割线位于该载台之上，该切割线的两端分别挟持于该两个挟持元件，该两个挟持元件能沿该剥离方向个别地移动以使该切割线相对于该剥离方向来回偏转，该剥离方法包含下列步骤：

(a)将该切割线自固定于该载台上的该物件的一侧边切入该物件与该薄件之间；以及

(b)交替地使该两个挟持元件相对于该剥离方向移动，同时使该载台对应该两个挟持元件的移动相对于该剥离方向来回偏转。

10.如权利要求9所述的剥离方法，其中步骤(a)由下列步骤实施：

将该两个挟持元件沿该剥离方向错位设置，使得该切割线的一部分接触该物件的该侧边部分并与该侧边间形成一锐角；以及

固定接近该切割线的该部分的该挟持元件，将该另一个挟持元件沿该剥离方向移动，使得该切割线自该侧边切入该物件与该薄件之间。

11.如权利要求9所述的剥离方法，其中该两个挟持元件定义为第一挟持元件及第二挟持元件，步骤(b)由下列步骤实施：

(b-1)固定该第一挟持元件，使该第二挟持元件沿该剥离方向移动一预定距离，使得该切割线以一第一旋转方向偏转，以及在该第二挟持元件移动时，使该载台以相反于该第一旋转方向的一第二旋转方向偏转；

(b-2)固定该第二挟持元件，使该第一挟持元件沿该剥离方向移动该预定距离，使得该切割线以该第二旋转方向偏转，以及在该第一挟持元件移动时，使该载台以该第一旋转方向偏转；以及

(b-3)重复步骤(b-1)及步骤(b-2)。

12.如权利要求11所述的剥离方法，其中在步骤(b-1)中，在该第二挟持元件移动时，量测该切割线的应力以动态调整该第二挟持元件的移动速度，以及在步骤(b-2)中，在该第一挟持元件移动时，量测该切割线的应力以动态调整该第一挟持元件的移动速度。

13.如权利要求9所述的剥离方法，其中该载台包含第一旋转轴及第二旋转轴，沿该剥离方向依序设置，在步骤(b)中，控制该第一旋转轴及该第二旋转轴以使该载台能相对于该剥离方向来回偏转。

14.如权利要求13所述的剥离方法，其中该物件其上沿该剥离方向定义一剥离长度，在步骤(b)中，当该切割线沿该剥离方向行进的距离小于该剥离长度的一半时，控制该第一旋转轴旋转以使该载台能相对于该剥离方向来回偏转，以及当该切割线沿该剥离方向行进的距离大于该剥离长度的一半时，控制该第二旋转轴旋转以使该载台能相对于该剥离方向来回偏转。